BHL-station 軟光刻站SU-8模具PDMS芯片

BHL-station 軟光刻站SU-8模具PDMS芯片

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• <li class="product-code" "="" style="box-sizing: border-box; font-size: 15px; padding: 0px 0px 5px; text-align: left; position: relative; color: rgb(135, 135, 135); line-height: 1.5;">產(chǎn)品SKU： BHL站
• 類別： 母模， 微細加工， 微細加工套件

我們提供*的產(chǎn)品，使您無需使用潔凈室即可直接在實驗室中進行自己的微細加工，軟光刻，SU8-MOLD和PDMS芯片。

在沒有潔凈室的情況下生產(chǎn)SU-8模具和PDMS芯片

新裝，新裝和編組手冊。Vous pourrez產(chǎn)品vos推出了無人參微流體。

• 節(jié)省時間：  無需分包商，您可以在一天內(nèi)生產(chǎn)芯片。
• 易于使用：  易于安裝，有清晰的說明
• 節(jié)省空間：  無需潔凈室：3平方米可獲得相同的結(jié)果。
• 高分辨率：  達到與進入潔凈室的分辨率相同的分辨率。

全軟光刻和PDMS芯片站

完整的軟光刻技術(shù)產(chǎn)品，無需清潔室即可生產(chǎn)自己的SU-8模具和PDMS芯片。

光刻站捆綁了軟光刻所需的所有儀器，從紫外線曝光系統(tǒng)和等離子清潔器到化學熱板，我們選擇了PDMS芯片和模具制造所需的每種儀器。在不到24小時的時間內(nèi)，直接在您的實驗室中生產(chǎn)芯片，從而帶來便利并降低開發(fā)成本。 

制造過程具有很高的可復(fù)制性，可讓您生產(chǎn)一系列類似的芯片。 

隨附所有必要的實驗室配件（硅片，鑷子，玻璃蓋，培養(yǎng)皿，一次性杯子，攪拌棒，手術(shù)刀等...）和化學藥品（SU8，SU8顯影劑，丙酮，異丙醇，粘附促進劑）。 

套件組成（不詳盡）

我們的專家選擇并采用了好的儀器，以使其與可靠的過程協(xié)同工作。 

可編程旋涂機：具有可控和可重復(fù)PDMS層的高級功能。它可以輕松地從您的PC編程，也可以直接從操作員面板編程，振動小，速度高達12,000 rpm。提供晶圓對中工具。 

等離子清潔劑：用于PDMS粘合。它的真空反饋回路可以調(diào)節(jié)腔室內(nèi)的真空度，而無需手動調(diào)節(jié)。兼容3至6英寸晶圓。  

緊湊的紫外線曝光系統(tǒng)：與硬（物理）或軟（接近）掩膜觸點兼容，并具有可變的掩膜到基板距離控制功能。分辨率為2µm。 

烤箱：  前面板帶有雙金屬流體膨脹探頭溫度調(diào)節(jié)器。

可編程熱板：4英寸晶圓上的高溫均勻性。 

真空泵：真空度足以在30分鐘內(nèi)將晶片保持在旋涂機卡盤上或?qū)DMS進行脫氣。并且帶有所有必要的實驗室配件和化學藥品。

應(yīng)用領(lǐng)域

微流體，芯片實驗室，器官芯片， 

 注：楊清辰發(fā)布。

此款產(chǎn)品不用于醫(yī)療，不用于臨床使用，此產(chǎn)品僅用于科研使用。