賀德克壓力傳感器

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賀德克壓力傳感器

賀德克壓力傳感器是檢測氣體、液體、固體等所有物質間作用力能量的總稱，也包括丈量高于大氣壓的壓力計以及丈量低于大氣壓的真空計。力敏傳感器的種類甚多、傳統的丈量方法是利用彈性元件的形變和位移來表示，但它的體積大、粗笨、輸出非線性。隨著微電子技術的發展，利用半導體材料的壓阻效應和良好的彈性，研制出半導體力敏傳感器，主要有硅壓阻式和電容式兩種，它們具有體積小、重量輕、靈敏度高等優點，因此半導體力敏傳感器得到廣泛應用。當對一塊半導體在某一晶向上施加應力時，其電阻率會產生一定的變化。

賀德克壓力傳感器

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