詳細介紹
威格勒壓力傳感器在整個壓力范圍內垂直偏移保持恒定,因此變換器擴散和激光調節修正的變化將產生偏移量誤差。
其次是靈敏度誤差:產生誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數。該誤差的產生原因在于擴散過程的變化。
第三是線性誤差:這是一個對壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線稱重傳感器。
最后是滯后誤差:在大多數情形中,壓力傳感器的滯后誤差*可以忽略不計,因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
威格勒壓力傳感器規格參數:
測量范圍 0...40 bar
測量方式 相對
最大過載壓力 80 bar
破裂應力 160 bar
設置范圍 4...100 %
介質 液體;氣體
切換遲滯 2 %
測量偏差 < ± 0,5 %
溫度偏差 0,025 %/K