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ATA-2000系列mems光柵應用測試高壓放大器MEMS光柵應用測試:
MEMS光柵采用了硅微加工工藝技術(shù),在外力作用下使光柵的某些特征參數(shù)(如周期、光柵等常數(shù))發(fā)生改變,從而實時改變光柵的工作性能,實現(xiàn)光柵的可編程應用?;谄?的優(yōu)勢,MEMS光柵已經(jīng)用于光通信、高清顯示設備、光譜分析等領(lǐng)域。MEMS光柵具有多種驅(qū)動方式,而靜電驅(qū)動的 MEMS光柵, 由于其工藝易于實現(xiàn)、耗能低、頻率響應高,因此是的驅(qū)動方式。*的光柵光閥(GLV)和氣體探測器(Polychromix) 都是采用靜電驅(qū)動的。 靜電驅(qū)動的可編程光柵還存在某些不足。靜電驅(qū)動的能量密度較小,當結(jié)構(gòu)需要比較大的工作 位移(微米級),就必須增大驅(qū)動電壓,驅(qū)動電壓甚 至達到上百伏。當結(jié)構(gòu)受靜電力作用,由于機械結(jié)構(gòu)*的慣性而產(chǎn)生彈性振蕩,增大系統(tǒng)延遲。實際工作時,光柵等效電容會隨光柵梁位移的改變而變化,導致驅(qū)動電路容性負載的變化。這些都為設計驅(qū)動電路帶來困難。 因此,MEMS光柵的工作性能很大程度上依賴于高壓放大器的性能。
MEMS測試功率放大器:
西安安泰電子科技有限公司生產(chǎn)的系列高壓放大器提供了DC-1.5MHz的帶寬,170Vpp~1600Vpp的輸出電壓范圍,40mA~500mA的電流輸出能力,是新型的MEMS相關(guān)應用的動態(tài)驅(qū)動研發(fā)測試的理想選擇。
ATA-2000系列mems光柵應用測試高壓放大器,可以輸出理想的單端及差分信號,為MEMS領(lǐng)域的研究提供了快捷的工具。同時該系列功率放大器,設計了良好的過壓,過流,短路保護裝置,同時為了更好的為MEMS測試客戶應用,提供的完善的阻抗匹配網(wǎng)絡,方便用戶選擇對應的匹配阻抗。
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