和其他臺式掃描電鏡相比較,日立電鏡具有分辨率上的優勢,成像效果好,FlexSEM 1000是日立高新公司推出的一款機型小巧性能優異的鎢燈絲電鏡，擁有大束流和低球差的物鏡和聚光鏡設計，配備了高分辨率二次電子探頭及高靈敏度五分割背散射探頭，具有的低真空成像能量，并且采用的SEM MAP高精度導航系統及zui全的自動化功能，使性能更加*，使用更加簡便。
FlexSEM 1000鎢燈絲掃描電子顯微鏡主要研究生物醫學、食品衛生、電子半導、汽車制造、新能源。這些材料的觀察都需要高分辨率的掃描電鏡，身材雖然變小，寬度僅為45cm，與前機型相比空間節省約52%，但分辨率仍可達到4納米。用戶認為日立掃描電鏡可以滿足他們對分辨率的要求，同時操作簡便，每個用戶都可以自己操作。點擊光學圖像或者低倍SEM圖像即可將樣品臺移動到位置，猶如在樣品上直接操作。同時還可將拍攝的高倍SEM圖像逐層覆蓋導入，實現低倍到高倍的無縫鏈接導航。下面是使用日立臺式掃描電鏡高分辨率所拍攝的圖片：
氧化鋅
水泥
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