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簡介:鋁酸鑭(LaAlO3)單晶是當前非常重要的大尺寸高溫超導薄膜基片單晶材料。它對多種鈣鈦礦結構材料晶格匹配好,是外延生長高溫超導薄膜和巨磁阻薄膜*的襯底材料,介電常數較低,微波損耗小,適用于制作高溫超導微波電子器件(例如:遠程通訊中的高溫超導微波濾波器等)。
性能及參數 | ||
生長方法 | 提拉法 | |
晶體結構 | 六方(常溫) | 立方(>435℃) |
晶格常數 | 六方a=5.357 Å c=13.22 Å | 立方a=3.821 Å |
顏色及外觀 | 依退火狀況而不同,由棕黃到褐色,拋光基片有自然孿晶疇。 | |
化學穩定性 | 室溫下不溶于礦物酸,溫度大于150℃時可溶于磷酸(H3PO4) | |
密度 | 6.52 g/cm3 | |
熔點 | 2080℃ | |
莫氏硬度 | 6.5mohs | |
熱膨脹系數 | 9.4×10-6/℃ | |
介電常數 | 25 | |
正切損耗(10GHz) | ~3×10-4 @300k ~0.6×10-4 @77k | |
晶向 | <100>、<110>、<111> | |
晶面定向精度 | ±0.5° | |
邊緣定向精度 | ±1° | |
斜切晶片 | 可按照客戶需求,定制特殊方向 | |
尺寸(可按照客戶需求,定制特殊尺寸) | 10×10×0.5mm、10×5×0.5mm、5×5×0.5mm、15×15×0.5mm等 | |
dia1″×0.5、dia2″×0.5等 | ||
拋光 | 單面拋光、雙面拋光 | |
表面粗糙度 | <5 Å | |
包裝 | 1000級超級凈室100級超凈袋或單片晶盒封裝 |
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