清潔度無(wú)塵室是一個(gè)人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級(jí)數(shù)的快速成長(zhǎng)，也增加了對(duì)制造環(huán)境(無(wú)塵室)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產(chǎn)品的運(yùn)作或降低其壽命。清潔度無(wú)塵室較主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。由于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線(xiàn)時(shí)，就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線(xiàn)形成短路。如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線(xiàn)上，可能將其腐蝕，所以無(wú)塵室為集成電路制造*的要素。
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