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直線光柵尺在真空技術(shù)中的應(yīng)用

真空是一個(gè)無任何物質(zhì)的空間，例如在真空中沒有空氣也沒有任何其它氣體。根據(jù)真空的純度，通常將真空分為低真空、中等真空、高真空或超高真空。真空技術(shù)在許多現(xiàn)代化生產(chǎn)過程和科研工作中發(fā)揮著重要作用。因此，真空技術(shù)是電子、薄膜技術(shù)、新材料開發(fā)、生物技術(shù)以及醫(yī)藥和分析技術(shù)*的技術(shù)。真空應(yīng)用對(duì)零部件有嚴(yán)格的要求，當(dāng)然也影響到定位應(yīng)用的編碼器。海德漢針對(duì)高真空和超高真空應(yīng)用特別設(shè)計(jì)的直線光柵尺能滿足這些要求，真空版的特殊設(shè)計(jì)包括：

• 滿足真空要求的PCB，黏膠和漆料，減少氣體析出 • 通氣的空腔，縮短抽真空時(shí)間 • 耐高溫，支持較高的加熱溫度 • 無磁鐵材料，提高過程可靠性 • 超凈車間生產(chǎn)，確保高清潔度

真空等級(jí)

在密閉的空間中，空氣被抽出成為無空氣的空間。氣室內(nèi)的空氣減少，氣壓下降，產(chǎn)生真空。封閉空間中的空氣量越少，氣壓越低，真空度越高。真空度分為四級(jí)。高于1 mbar的氣壓為低真空度。低于該氣壓時(shí)，為中等真空度。低于0.001 mbar為高真空度，達(dá)到或低于0.000 000•1•mbar 為超高真空度。

真空應(yīng)用

真空需要一個(gè)密閉的空間不存在任何空氣，因此也不存在任何懸浮顆粒，不允許任何“異物”存在。有時(shí)需要在真空中測(cè)量尺寸，例如需要檢查亞微米級(jí)的超精細(xì)結(jié) 構(gòu)或需要切分和檢查顆粒。直線光柵尺和角度編碼器在真空中的常見應(yīng)用包括電子顯微鏡、機(jī)械手、多路執(zhí)行器、XY工作臺(tái)、電子束顯微鏡，半導(dǎo)體工業(yè)的圓晶檢查或測(cè)量同步加速器輻射的光譜儀軸。