VICI D-4型PDHID檢測器的主要技術指標如下:
• 檢測限:對大多數化合物的最小檢測量低至ppb級,可檢測到痕量級別的雜質,如在高純氦雜質分析中,對H2、O2、Ar、N2、CO2、CH4等雜質的最小檢測量優于20ppb。
• 線性范圍:在很寬的范圍內呈線性,線性范圍可達105。
• 操作溫度:操作溫度可達400℃。
• 響應特性:對無機和有機化合物均有很高的響應,且對所有氣體的響應值為正,即穩定電流增加。
• 載氣及流量:通常使用氦氣作為載氣,載氣流量范圍一般在0-1000ml/min。
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