ATOS電磁閥桿與填料、閥芯與閥座以及執行機構的卡塞。
（1）閥桿密封填料壓裝過緊，引起閥桿運行阻力增大。由于數控加工精度的提高，閥桿表面的光潔度很高，填料過緊增大了閥桿與填料間的阻力，在預緊彈簧回位時引起超調，進而引起閥門長周期振動（振動周期一般大于30s）。
（2）對彈簧預緊的填料函采用不合理的方法調整填料壓蓋，造成閥桿運行阻力增大、預緊彈簧或填料損壞。
（3）低溫閥門未采用與其相應的填料，造成摩擦阻力增大。
（4）閥桿變形或填料壓蓋錯位，引起閥桿摩擦填料壓蓋，造成運行阻力增大，同時引起填料加速磨損造成介質泄漏。閥桿變形通常有2種原因。①正作用執行機構由于氣源壓力設定值超過閥門標稱值，推力過大造成閥桿變形。②操作閥門手動機構時用力過大引起閥桿變形。
（5）填料函進入異物卡塞，造成閥桿運行阻力增大。異物有閥桿不潔凈運行過程中帶入的粉塵、鐵銹或雨雪等。另外，由于冷箱或管線漏冷嚴重，使閥桿處結冰，冰又通過閥桿移動帶入填料函。
（6）閥芯內部卡塞，主要原因有導向套部分卡塞（部分廠家叫無油軸承），介質在閥內結晶或結垢，閥腔內有異物等。由于吹掃不干凈，設備腐蝕，管道或容器內部件脫落等原因造成閥腔內有異物存在。
（7）執行機構卡塞，主要原因有彈簧斷裂或疊壓，雙齒條執行機構齒牙磨損，執行機構限位螺釘或限位盤等部件脫落。
ATOS電磁閥振動是閥門運行中較難處理的故障之一。振動不僅加速調節閥的損壞，也對產品質量和安全生產造成影響。本文結合智能定位器的研究，給出現場處理振動問題的注意事項和方法。
執行機構漏氣
ATOS電磁閥由于漏氣使實際閥位偏離給定閥位，造成伺服放大器反復充氣，使閥門不能穩定在給定閥位，造成閥門振動。
ATOS電磁閥氣動薄膜執行機構
氣動薄膜執行機構的膜片破損，推桿與彈簧托盤松動，O形圈破損，反作用執行機構推桿與下膜蓋之間的密封漏氣，通常為V形密封圈磨損，頂裝手輪機構上膜蓋密封漏氣。
（2）直行程氣缸執行機構
直行程氣缸執行機構（包含用于撥叉式角行程執行機構）的活塞密封圈漏氣（竄缸漏氣），活塞缸蓋密封漏氣，限位螺釘密封組件漏氣，輸出軸與缸蓋間密封漏氣。
（3）雙齒條結構角行程執行機構
雙齒條結構角行程執行機構的活塞背面密封圈漏氣，氣缸蓋與缸體密封圈漏氣，輸出軸與缸體連接的上下支撐密封圈漏氣，氣缸蓋上的限位螺釘漏氣。
（4）外部附件
外部附件如各定位器輸出管線接頭漏氣，氣控增速器或繼動器、快排閥、單向調速器和保位閥漏氣。
2.2漏氣處理
針對不同的漏氣現象，采取的處理方法不同。
（1）如果閥門沒有嚴格的開關時間限制，應盡可能減少氣動附件和過程接頭，如取消快排閥、氣控增速器、單向調速器、變徑和彎通等附屬元件。
（2）定時清掃并加注潤滑油，保持推桿、閥桿潔凈無銹蝕，鍍鉻層不起皮，潤滑充分，確保密封件不磨損、不漏氣。
（3）巡檢時，對氣動薄膜執行機構的排氣口（正作用排氣口在下膜蓋，反作用在上膜蓋）和單作用活塞缸的排氣口等部位進行檢漏，發現漏氣及時進行修復處理。