純水設備采用的是主要是反滲透膜技術。它的工作原理是對水施加一定的壓力，使水分子和離子態的礦物質元素通過反滲透膜，而溶解在水中的絕大部分無機鹽(包括重金屬)、有機物以及細菌、病毒等無法透過反滲透膜，從而使滲透過的純凈水和無法滲透過的濃縮水嚴格的分開;反滲透膜上的孔徑只有0.0001微米,而病毒的直徑一般有0.02-0.4微米,普通細菌的直徑有0.4-1微米。
反滲透是一種借助于選擇透過(半透過)性膜的工力能以壓力為推動力的膜分離技術，當系統中所加的壓力大于進水溶液滲透壓時，水分子不斷地透過膜，經過產水流道流入中心管，然后在一端流出水中的雜質,如離子、有機物、細菌、病毒等,被截留在膜的進水側，然后在濃水出水端流出，從而達到分離凈化目的。
跟純水設備不同，超純水設備是在反滲透技術的基礎上，添加了離子交換和終端處理技術。
超純水設備受到污染的途徑主要有3種：
1、進水污染
超純水設備進水水源為市政自來水經超濾后出水,水質比較理想,但是部分真菌類采用孢子繁殖,雖然在超濾進水前市政自來水已進行了加氯殺菌,部分真菌類孢子可能處于假死狀態而進入反滲透內部,在反滲透進水管加入還原劑去除水中余氯的處理,從反滲透給水泵至反滲透出水這段管道內沒有抑制細菌等微生物生長的氧化性殺菌劑的存在,給厭氧性真菌等其他微生物制造了良好的生存條件,使真菌等微生物在這些部位迅速繁殖、生長。
2、保安過濾器滋生微生物
超純水設備前置保安過濾器是進反滲透前后一道過濾設備,其過濾精度只有5μm,截污能力較強,當截留下來的物質聚集在一起的時候就成為了微生物滋生的理想環境,其他同類型設備也多次出現由于保安過濾器內部滋生異物對超純水設備產生影響的情況。真菌類物質隨著進水進入反滲透本體,在反滲透內部大量滋生影響設備運行。
3、超濾出水對系統影響
此種影響性小,但也不能排除。
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