深圳市普索進(jìn)出口貿(mào)易有限公司 李沛 133 -1650 -1405(同V)
深圳市普索進(jìn)出口貿(mào)易有限公司(普索貿(mào)易)是一家專業(yè)經(jīng)營工控行業(yè)備件進(jìn)口的公司,公司依托德國分公司在歐盟區(qū)域常年的采購經(jīng)驗(yàn),與歐盟境內(nèi)3000多個(gè)工控品牌,5000多家供應(yīng)商建立起長久的合作,為客戶提供100%原裝正品的工業(yè)產(chǎn)品及零部件的同時(shí)提供優(yōu)質(zhì)的價(jià)格及服務(wù)。
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ITW dynatec I110639D 德國 7307990003 接頭 接頭
ITW dynatec 07.41200.502 德國 7307990004 接頭 接頭
ITW dynatec MT 56808-A 德國 7307990005 接頭 接頭
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ITW dynatec I109690 德國 7307990025 接頭 接頭
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ITW dynatec l110743 德國 7307990027 接頭 接頭
ITW dynatec l150101 德國 7307990028 接頭 接頭
ITW dynatec I07.93024.712 德國 7307990029 接頭 接頭
ITW dynatec 07.93024.710 德國 7307990030 接頭 接頭
ITW dynatec I07.00600.120 德國 7307990031 接頭 接頭
ITW dynatec 2517/42F8 DIN 6885-1/H9IPL 德國 7307990032 接頭 接頭
ITW dynatec I110639D 德國 7307990033 接頭 接頭
ITW dynatec I75.04402.781 德國 7307990034 接頭 接頭
ITW dynatec I75.08804.781 德國 7307990035 接頭 接頭
ITW dynatec R1F010 1 MICRON PALL 德國 7307990036 接頭 接頭
ITW dynatec I117147 德國 7307990037 接頭 接頭
ITW dynatec I07.41200.502 德國 7307990038 接頭 接頭
ITW dynatec I71.01000.359 德國 7307990039 接頭 接頭
ITW dynatec I110639 德國 7307990040 接頭 接頭
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ITW dynatec I115578 106094 德國 7307990043 接頭 接頭
ITW dynatec H MELT ADHESIVE CONT.V115540(VAL0337259) 德國 7307990044 接頭 接頭
ITW dynatec H MELT ADHESIVE REL.V 101840(VAL0337260) 德國 7307990045 接頭 接頭
ITW dynatec SEALING RING 116072 德國 7307990046 接頭 接頭
ITW dynatec HOT MELT FILTER 115438(069X061) 德國 7307990047 接頭 接頭
ITW dynatec 07.93024.708 24VDC, 3/2(VAL0193658) 德國 7307990048 接頭 接頭
ITW dynatec 159382-E 110700 德國 7307990049 接頭 接頭
ITW dynatec 818118 德國 7307990050 接頭 接頭
ITW dynatec 813556 德國 7307990051 接頭 接頭
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ITW dynatec 320856-e 101087 德國 7307990053 接頭 接頭
OBER 0.45819232 D11X2 REP 德國 8421999090 濾網(wǎng) 用途:適用于OBER牌LGS過濾器,材質(zhì):鋼鐵+塑料
Bonesi 0.676065874 BOBE024DC 德國 8505909090 電磁閥線圈 用途:電磁閥用,原理:電磁原理通電產(chǎn)生磁性
katko 0.097796266 VKA 1.V Germany 控制器
ENNA 0.96820702 0525396002 德國 85285299 顯示器
SCHMERSAL 0.697427906 AZM 170-B6 德國 線圈鎖定件
INFINEON 0.817899163 DAP MINIWIGGLER 德國 8471900090 系統(tǒng)仿真器 系統(tǒng)開發(fā)用,用于讀寫、修改程序
RSG 0.521264143 92970002 德國 8481804090 截止閥 用途:管道用,功能:控制管道流體的通斷,閥芯材質(zhì):鋼鐵,兩位兩通
SCHMERSAL 0.666115544 SE-304 C Germany 繼電器
RIEGLER 0.142624005 60-3/ETS 105668 德國 8421999090 濾芯 用途:適用于RIEGLER牌SAP過濾器,材質(zhì):銅合金+玻纖
perske 0.157319485 KNS 21.05-2 Germany 8501510090 電機(jī) 三相交流電機(jī),200W,用于提升機(jī)
Schneider 0.716448047 CA3SK20BD 德國 8536411000 繼電器 用途:電路安全控制用,電壓24V
Telco 0.695620055 LR-100L-TS38-T3 德國 9031499090 光電傳感器 用途:工業(yè)機(jī)械監(jiān)測用,功能:通過光電反射來測量機(jī)械的振動(dòng),無測量結(jié)果顯示
DIETZ 0.637605378 LGTR 100 PSK-ST4 Germany 8543709990 安全光幕 用途:工業(yè)機(jī)械用,功能:通過光電感應(yīng)到物體進(jìn)入?yún)^(qū)域時(shí),向控制器發(fā)出開關(guān)信號(hào)
Bürkert 0.19435689 8400 444696 德國 9025191000 溫度傳感器 原理:利用鉑電阻測量原理測量液體溫度,應(yīng)用于工業(yè)溫度測量裝置中 非液體的/可直接讀數(shù)
Steuber 0.667511594 RE-2155.5 德國 9031499090 光電傳感器 用途:工業(yè)控制設(shè)備用,功能:通過光電反射來感應(yīng)有無物體在區(qū)域,無測量結(jié)果顯示
BERNSTEIN 0.549240671 KCN-T32DP/030-KLPS12 Hungary 9031809090 電容傳感器 用途:工業(yè)生產(chǎn)輸送線上用,功能:通過電容信號(hào)感應(yīng)有無物體接近并向通過放大器放大信號(hào)后向PLC發(fā)出開關(guān)指令,本身無開關(guān)功能
Bürkert 0.419546827 563780 法國 9026209090 壓力傳感器 功能:檢測壓力,檢測對(duì)象:液體和氣體
Bürkert 0.319114469 423913 法國 9026100000 流量傳感器 功能:檢測流量,檢測對(duì)象:液體
kytola 0.785357135 VLK-7403-D Germany 9026100000 流量計(jì) 功能:檢測流量,檢測對(duì)象:液體
HYDAC 0.811486264 VR 2 LZ.1 /-DB 304523 德國 9026209090 壓力計(jì) 功能:檢測壓力,檢測對(duì)象:液體
GEMU 0.889000161 807 25D 72114 88230529 德國 9026100000 流量計(jì) 功能:檢測流量,檢測對(duì)象:液體
ETA 0.948672272 3600-P10-SI-1A 德國 斷路器
Telemecanique 0.856788307 ZC2JY71 德國 8538900000 開關(guān)杠桿 用途:適用于Schneider牌9007系列開關(guān)
APV 0.861799928 J03410001 J03410001 德國 8481901000 刮環(huán) 用途:適用于APV牌J03閥門,材質(zhì):塑料,用途:閥芯
ACS 0.748771403 SIF-04MGSPKY 德國 9031809090 電感傳感器 用途:工業(yè)輸送線上用,原理:利用內(nèi)部電感振蕩器產(chǎn)生一個(gè)交變磁場,當(dāng)金屬產(chǎn)品進(jìn)入到磁場范圍時(shí),因金屬產(chǎn)品干擾,導(dǎo)致磁場衰減,磁場變化被傳感器感應(yīng)到并處理轉(zhuǎn)換為電信號(hào),達(dá)到檢測有無產(chǎn)品接近目的,功能:檢測有無產(chǎn)品接近,無測量結(jié)果顯示
di-soric 0.671854905 SB-RGB-250-K-B5 210521 德國 9405409000 照明燈 用途:機(jī)械照明用
reichelt 0.438500418 PATCHKABEL 5 GR 德國 8544421100 電纜 用途:電腦用,帶接頭,額定電壓5V
Bürkert 0.609261371 672134 672134 德國 8481901000 配件 配件
JUMO 0.824878904 CTI-750 00470099 德國 9027809900 電導(dǎo)率傳感器 用途:工廠檢測用,原理:利用二位電導(dǎo)電極來測量液體的電解電導(dǎo)率值 ,功能:測量液體電導(dǎo)率,檢測對(duì)象:液體,未配有試劑/試紙/無電腦端口的打印機(jī)
Bürkert 0.439531583 178 364 德國 控制器
Euchner 0.199463125 NM12AK-M 084562 德國 8505909090 線圈鎖定裝置 用途:工業(yè)設(shè)備鎖定用,原理:線圈通電產(chǎn)生磁力吸引
ELBE 0.205616902 0.107.101.0001 德國 8483109000 傳動(dòng)軸 用途:攪拌機(jī)用
EGE 0.214387409 IGMF 008 GOP/10meter P31427/10 德國 9031809090 電感傳感器 用途:工業(yè)輸送線上用,原理:利用內(nèi)部電感振蕩器產(chǎn)生一個(gè)交變磁場,當(dāng)金屬產(chǎn)品進(jìn)入到磁場范圍時(shí),對(duì)磁場產(chǎn)生干擾,磁場變化被傳感器感應(yīng)到并處理轉(zhuǎn)換為信號(hào),達(dá)到檢測有無金屬產(chǎn)品接近目的,功能:檢測有無產(chǎn)品接近,無測量結(jié)果顯示
Bürkert 0.244050193 00448222 法國 9026100000 液位傳感器 功能:檢測液位,檢測對(duì)象:液體
ELKOSUN 0.622128481 ZRM 6-ES/C 12308 德國 8504409999 高壓發(fā)生器 高壓發(fā)生器
Bauer 0.954275086 BS02-14U/D04LA4 188G253100 SK 8501510090 電機(jī) 功率120W,三相交流電機(jī),工業(yè)機(jī)械用
EGE 0.948293064 SKZ 400 WR P10501 德國 8543709200 放大器 用途:放大傳感器信號(hào)用
Telco 0.00308907 LT-100L-TS38-T3 德國 9031499090 光電傳感器 用途:工業(yè)機(jī)械監(jiān)測用,功能:通過光電反射來測量機(jī)械的振動(dòng),無測量結(jié)果顯示
ADDER 0.419633217 X-USBPRO-IEC United Kingdom 84718000 延長器
provertha 0.03368482 40-1292122 德國 接插件
em-technik 0.775602509 6L832F0414PVFP 德國 8481802990 換向閥 用途:管道用,非電磁式,功能:換向,閥芯材質(zhì):鋼鐵,二位三通
Bürkert 0.114533405 2875 239088 德國 8481804090 開關(guān)閥 用途:管道用,功能:控制管道流體的通斷,閥芯材質(zhì):鋼鐵,兩位兩通
EGE 0.403460929 IGMF 015 GSOP 德國 9031809090 電感傳感器 用途:工業(yè)輸送線上用,原理:利用內(nèi)部電感振蕩器產(chǎn)生一個(gè)交變磁場,當(dāng)金屬產(chǎn)品進(jìn)入到磁場范圍時(shí),因金屬產(chǎn)品干擾,導(dǎo)致磁場衰減,磁場變化被傳感器感應(yīng)到并處理轉(zhuǎn)換為電信號(hào),達(dá)到檢測有無產(chǎn)品接近目的,功能:檢測有無產(chǎn)品接近,無測量結(jié)果顯示
SCHMERSAL 0.455784431 AZM300Z-I2-ST-1P2P 德國 8505909090 線圈鎖定裝置 用途:工業(yè)設(shè)備鎖定用,原理:線圈通電產(chǎn)生磁力吸引
EFFEFF 0.17914102 34 KL GRAU 24 V GS UNIVERSAL 34-----09602F91 Germany 8301400000 電子鎖 用途:門用,材質(zhì):鋼鐵,種類:電動(dòng)鎖
Bürkert 0.95899176 560403 法國 9026100000 流量傳感器 功能:檢測流量,檢測對(duì)象:液體
CONRAD 0.251311605 TLHG5400 1125448-62 德國 8541401000 發(fā)光二極管 用途:工業(yè)用
Murr 0.321801571 51120 德國 8536411000 繼電器 用途:電路安全控制用,電壓24V
EUCHNER 0.736045254 TX3B-A024MC1991 Germany 8505909090 線圈鎖定裝置 用途:工業(yè)設(shè)備鎖定用,原理:電磁原理通電產(chǎn)生磁力吸引
AUER 0.775682993 BZG 24VDC 15J Kalotte gelb 741047005 奧地利 閃光燈
磁控濺射是物理氣相沉積( Physical Vapor Deposition,υ)的種。一般的濺射法可被用于制備金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等多材料,且具有設(shè)備簡單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。上世紀(jì)70年代發(fā)展起來的磁控濺射法更是實(shí)現(xiàn)了高速、低溫、低損傷。因?yàn)槭窃诘蜌鈮合逻M(jìn)行髙速濺射,必須有效地提高氣體的離化率。磁控濺射通過在靶陰極表面引入磁場,利用磁場對(duì)帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率。
原理:磁控空濺射的工作原理是指電子在電場E的作用下,在飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞,使其電離產(chǎn)生出Ar正離子和新的電子;新電子飛向基片,Ar離子在電場作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,而產(chǎn)生的二次電子會(huì)受到電場和磁場作用,產(chǎn)生E(電場)xB(磁場)所指的方向漂移,簡稱ExB漂移,其運(yùn)動(dòng)軌跡近似于一條擺線。若為環(huán)形磁場,則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運(yùn)動(dòng),它們的運(yùn)動(dòng)路徑不僅很長,而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區(qū)域內(nèi),并且在該區(qū)域中電離岀大量的Ar來轟擊靶材,從而實(shí)現(xiàn)了高的沉積速率。隨隨著碰撞次數(shù)的增加,二次電子的能量消耗殆盡,逐漸遠(yuǎn)離靶表面,并在電場E的作用下最終沉積在基片上。由于該電子的能量很低,傳遞給基片的能量很小,致使基片溫升較低。
磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過程。入射粒子在靶中經(jīng)歷復(fù)雜的散射過程,和靶原子碰撞,把部分動(dòng)量傳遞給靶原子,此靼原子又和其他靶原子碰撞,形成級(jí)聯(lián)過程。在這種級(jí)聯(lián)過程中某些表面附近的靶原子獲得向外運(yùn)動(dòng)的足夠動(dòng)量,離開靶,被濺射出來
原理圖
濺射技術(shù)
直流濺射法
直流濺射法要求靶材能夠?qū)碾x子轟擊過程中得到的正電荷傳遞給與其緊密接觸的陰極,從而該方法只能濺射導(dǎo)體材料,不適于絕緣材料。因?yàn)檗Z擊絕緣靶材時(shí),表面的離子電荷無法中和,這將導(dǎo)致靶面電位升高,外加電壓幾乎都加在靶上,兩極間的離子加速與電離的機(jī)會(huì)將變小,甚至不能電離,導(dǎo)致不能連續(xù)放電甚至放電停止,濺射停止。故對(duì)于絕緣靶材或?qū)щ娦院懿畹姆墙饘侔胁?須用射頻濺射法(RF)
濺射過程中涉及到復(fù)雜的散射過程和多種能量傳遞過程:入射粒子與靶材原子發(fā)生彈性碰撞,入射粒子的一部分動(dòng)能會(huì)傳給靶材原子;某些靶材原子的動(dòng)能超過由其周圍存在的其它原子所形成的勢壘(對(duì)于金屬是5-10eV),從而從晶格點(diǎn)陣中被碰撞岀來,產(chǎn)生離位原子;這些離位原子進(jìn)一步和附近的原子依次反復(fù)碰撞,產(chǎn)生碰撞級(jí)聯(lián);當(dāng)這種碰撞級(jí)聯(lián)到達(dá)靶材表面時(shí),如果靠近靶材表面的原子的動(dòng)能大于表面結(jié)合能(對(duì)于金屬是1-6eV),這些原子就會(huì)從靶材表面脫離從而進(jìn)入真空
濺射鍍膜
濺射鍍膜就是在真空中利用荷能粒子轟擊靶表面,使被轟擊出的粒子沉積在基片上的技術(shù)。通常,利用低壓惰性氣體輝光放電來產(chǎn)生入射離子。陰極靶由鍍膜材料制成,基片作為陽極,真空室中通入0.1-10Pa的氬氣或其它惰性氣體,在陰極(靶)1-3KV直流負(fù)高壓或13.56MHz的射頻電壓作用下產(chǎn)生輝光放電。電離出的氬離子轟擊靶表面,使得靶原子濺出并沉積在基片上,形成薄膜。濺射方法很多,主要有二級(jí)濺射、三級(jí)或四級(jí)濺射、磁控濺射、對(duì)靶濺射、射頻濺射、偏壓濺射、非對(duì)稱交流射頻濺射、離子束濺射以及反應(yīng)濺射等
由于被濺射原子是與具有數(shù)十電子伏特能量的正離子交換動(dòng)能后飛濺出來的,因而濺射出來的原子能量高,有利于提高沉積時(shí)原子的擴(kuò)散能力,提高沉積組織的致密程度,使制出的薄膜與基片具有強(qiáng)的附著力。濺射時(shí),氣體被電離之后,氣體離子在電場作用下飛向接陰極的靶材,電子則飛向接地的壁腔和基片。這樣在低電壓和低氣壓下,產(chǎn)生的離子數(shù)目少,靶材濺射效率低;而在高電壓和高氣壓下,盡管可以產(chǎn)生較多的離子,但飛向基片的電子攜帶的能量高,容易使基片發(fā)熱甚至發(fā)生二次濺射,影響制膜質(zhì)量。另外,靶材原子在飛向基片的過程中與氣體分子的碰撞幾率也大為增加,因而被散射到整個(gè)腔體,既會(huì)造成靶材浪費(fèi),又會(huì)在制備多層膜時(shí)造成各層的污染。
濺射后的銀靶材
為了解決陰極濺射的缺陷,人們?cè)?0世紀(jì)年代開發(fā)岀了直流磁控濺射技術(shù),它有效地克服了陰極濺射速率低和電子使基片溫度升高的弱點(diǎn),因而獲得了迅速發(fā)展和廣泛應(yīng)用
其原理是:在磁控濺射中,由于運(yùn)動(dòng)電子在磁場中受到洛侖茲力,它們的運(yùn)動(dòng)軌跡會(huì)發(fā)生彎曲甚至產(chǎn)生螺旋運(yùn)動(dòng),其運(yùn)動(dòng)路徑變長,因而增加了與工作氣體分子碰撞的次數(shù),使等離子體密度增大,從而磁控濺射速率得到很大的提高,而且可以在較低的濺射電壓和氣壓下工作,降低薄膜污染的傾向;另一方面也提高了入射到襯底表面的原子的能量,因而可以在很大程度上改善薄膜的質(zhì)量。同時(shí),經(jīng)過多次碰撞而喪失能量的電子到達(dá)陽極時(shí),已變成低能電子,從而不會(huì)使基片過熱。因此磁控濺射法具有高速、“低溫"的優(yōu)點(diǎn)。該方法的缺點(diǎn)是不能制備絕緣體膜,而且磁電極中采用的不均勻磁場會(huì)使靶材產(chǎn)生顯著的不均勻刻蝕,導(dǎo)致靶材利用率低,一般僅為20%-30%