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半導(dǎo)體材料中的載流子濃度直接決定著半導(dǎo)體的導(dǎo)電能力,因此要制造出符合要求的半導(dǎo)體器件,必須定量地研究載流子濃度的影響因素。

半導(dǎo)體中有空穴和電子兩種載流子,半導(dǎo)體中的電流是這兩種載流子定向移動(dòng)形成的電流之和。

空穴濃度和電子濃度分別用 [公式] 和 [公式] 表示,單位為 [公式] 或 [公式] ,實(shí)際常用 [公式] 作單位。

一、有關(guān)電子與能級(jí)的基本概念

1.1 能級(jí)與能帶

能級(jí):由量子物理,束縛態(tài)電子的能量是量子化的(一系列離散值),每一個(gè)能量值對(duì)應(yīng)于一個(gè)能級(jí)(Energy Level)。

【注:從數(shù)學(xué)上講,束縛態(tài)電子能量量子化的根本原因在于在勢(shì)阱中的薛定諤方程(它給出了描述電子出現(xiàn)概率的波函數(shù) [公式] 與位置 [公式] ,時(shí)間 [公式] 所滿足的微分關(guān)系)的正弦解具有周期性,從而電子的能量由正整數(shù)[公式]決定而取一系列離散值。】

能帶:當(dāng)N個(gè)原子(阿伏加德羅常數(shù)數(shù)量級(jí))集聚成晶體時(shí),由于之間能量的相互影響,原本孤立的原子的能級(jí)會(huì)分裂為N個(gè)能級(jí),這些間距很小的能級(jí)所形成的能量近似連續(xù)的區(qū)域稱為能帶(Energy Band)。如鈉晶體的3s能帶,3p能帶等。

禁帶,允帶:允許電子出現(xiàn)的能帶稱為允帶(Allowed/Permissible Band)。相應(yīng)地,不存在可能的量子態(tài)(即電子不可能出現(xiàn))的能量區(qū)域稱為禁帶(Forbidden Band)。

在允帶中,比較特殊的兩個(gè)是價(jià)帶和導(dǎo)帶。

價(jià)帶,導(dǎo)帶:0K時(shí),晶體中最上面有電子存在的能帶稱為價(jià)帶(Valence Band)。價(jià)帶上面相鄰的空白能帶稱為導(dǎo)帶(Conduction Band)。

費(fèi)米能級(jí):0K時(shí),能量高于 [公式] 的能級(jí)沒(méi)有電子分布,而能量低于 [公式] 的能級(jí)上每個(gè)量子態(tài)都有一個(gè)電子,這一能級(jí) [公式] 稱為費(fèi)米能級(jí)。(顯然費(fèi)米能級(jí)的位置與電子是否可能出現(xiàn)在該位置無(wú)關(guān),即費(fèi)米能級(jí)既可能在允帶中,也可能在禁帶中)

PS:按量子理論,電子在0K時(shí)是有能量的。因此把費(fèi)米能級(jí)套在經(jīng)典理論上會(huì)出現(xiàn)佯謬。例如:0K時(shí),如果令 [公式] ,則在費(fèi)米能級(jí)的電子具有量級(jí)為 [公式] 的速度(費(fèi)米速度),而按經(jīng)典理論電子是靜止的;又如,如果令 [公式] ( [公式] 為玻爾茲曼常量),則金屬有高達(dá) [公式] 的溫度(費(fèi)米溫度),而實(shí)際溫度是0K!

禁帶寬度:導(dǎo)帶底與價(jià)帶頂之間的能量差稱為禁帶寬度 [公式] 。 [公式]

1.2 從能帶角度看導(dǎo)體、絕緣體、半導(dǎo)體

導(dǎo)體:價(jià)帶中有電子且未被電子填滿的晶體是導(dǎo)體。當(dāng)外加電場(chǎng)時(shí),價(jià)帶電子被加速形成電流。

絕緣體:0K時(shí),價(jià)帶被電子填滿,導(dǎo)帶空白,且禁帶較寬的晶體是絕緣體。一般地,升高溫度或外加電壓都難以使價(jià)帶電子獲得足夠的能量躍入導(dǎo)帶,因此絕緣體導(dǎo)電能力差。

半導(dǎo)體:0K時(shí),價(jià)帶被電子填滿,導(dǎo)帶空白,且禁帶較窄的晶體是半導(dǎo)體。半導(dǎo)體在常溫(例如300K)時(shí)就有一定量電子在導(dǎo)帶中,溫度升高時(shí),更多電子受激躍入導(dǎo)帶,導(dǎo)電能力明顯增強(qiáng)。

二、半導(dǎo)體載流子濃度與載流子能量的關(guān)系

[注:本節(jié)討論均在半導(dǎo)體無(wú)外加電壓(即熱平衡)狀態(tài)下進(jìn)行]

載流子數(shù)量計(jì)算基本原理:載流子濃度=載流子總數(shù)的可能最大值 [公式] 載流子出現(xiàn)概率

i.e. 載流子濃度=量子態(tài)密度 [公式] 費(fèi)米-狄拉克分布函數(shù)

2.1 量子態(tài)密度

單位體積,單位能量中載流子總數(shù)的最大值(即可能的量子態(tài)總數(shù))稱為量子態(tài)密度。導(dǎo)帶量子態(tài)密度用 [公式] 表示,價(jià)帶量子態(tài)密度用 [公式] 表示。

量子態(tài)密度與載流子動(dòng)能的平方根成正比。公式是:

[公式] 中,導(dǎo)帶電子量子態(tài)密度 [公式]

價(jià)帶空穴量子態(tài)密度[公式]

解釋:① [公式] 為空穴或電子的有效質(zhì)量(考慮晶格對(duì)載流子束縛作用的等效質(zhì)量)。普朗克常數(shù) [公式]

②設(shè)導(dǎo)帶中電子的能量為 [公式] ,將導(dǎo)帶底的能量 [公式] 視作電子的勢(shì)能,那么 [公式] 即為電子的動(dòng)能。同理,價(jià)帶頂能量 [公式] 與空穴能量的差值 [公式] 即為價(jià)帶中空穴的動(dòng)能。

2.2 費(fèi)米-狄拉克分布

在一定溫度 [公式] 下,能量為 [公式] 的電子出現(xiàn)在某一量子態(tài)的概率為

[公式]

相應(yīng)地,能量為 [公式] 的空穴出現(xiàn)在某一量子態(tài)(即某一量子態(tài)為空)的概率為 [公式] 。

解釋:① [公式] 為該溫度下的費(fèi)米能級(jí)。根據(jù)此式,費(fèi)米能級(jí)也可以定義為:在一定溫度下,若能量為 [公式] 的量子態(tài)被載流子占據(jù)的概率為1/2,則 [公式] 為該溫度下的費(fèi)米能級(jí)。

②玻爾茲曼常量 [公式] 。用關(guān)系[公式] 可以容易地驗(yàn)證這一數(shù)值。

有了量子態(tài)密度和費(fèi)米-狄拉克分布的表達(dá)式,就可以通過(guò)對(duì)能量在整個(gè)能帶中積分,得出單位體積內(nèi)電子的數(shù)目為 [公式] ,

空穴濃度為[公式] 。

(注:對(duì)于電子,當(dāng)能量增大時(shí),由于費(fèi)米-狄拉克函數(shù)迅速趨于零,因此可將積分上限設(shè)定為+∞而不必使用導(dǎo)帶頂能量。空穴同理反之。)

三、半導(dǎo)體載流子濃度與半導(dǎo)體自身參數(shù)的關(guān)系

3.1 載流子濃度與能帶能量值Ec,Ev的關(guān)系

在第二節(jié),我們得到了在無(wú)外加電壓(熱平衡)條件下,半導(dǎo)體載流子濃度與載流子能量之間的關(guān)系式。雖然載流子的能量是一個(gè)很難確定的值,但可以看到,我們對(duì)能量進(jìn)行積分后,所得到的載流子濃度表達(dá)式就僅包含半導(dǎo)體自身參數(shù)(如價(jià)帶頂能量 [公式] ,導(dǎo)帶底能量 [公式] 等等)和溫度了。因此,這一節(jié)我們首先要將載流子濃度的表達(dá)式計(jì)算出來(lái)。

在費(fèi)米-狄拉克分布函數(shù)的玻爾茲曼近似( [公式] )條件下,可以積分計(jì)算出半導(dǎo)體的導(dǎo)帶電子熱平衡濃度為

[公式]

說(shuō)明:① [公式] 的下標(biāo)0表示無(wú)外電壓的熱平衡態(tài)。

② [公式] 是與半導(dǎo)體材料和溫度有關(guān)的常數(shù),稱為導(dǎo)帶有效狀態(tài)密度。 [公式] 。

同理,半導(dǎo)體的價(jià)帶空穴熱平衡濃度為
[公式]

3.2 載流子濃度與本征半導(dǎo)體參數(shù)的關(guān)系

上一節(jié),我們雖然得出了載流子濃度不依賴于粒子能量的表達(dá)式,但依然依賴于導(dǎo)帶底、價(jià)帶頂?shù)哪芰恐礒c和Ev。本節(jié)將用更具有普遍意義的費(fèi)米能級(jí)和本征半導(dǎo)體的參數(shù)代替Ec和Ev。

本征半導(dǎo)體:純凈的具有晶體結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體。

本征半導(dǎo)體有兩個(gè)重要參數(shù):本征載流子濃度,本征費(fèi)米能級(jí)。

(1)本征載流子濃度即為本征半導(dǎo)體中的載流子濃度。由于本征半導(dǎo)體中所有價(jià)電子都形成了共價(jià)鍵,自由電子數(shù)=空穴數(shù),故通常用電子數(shù) [公式] 來(lái)表示本征載流子濃度。[公式]是半導(dǎo)體材料(即使是已經(jīng)摻雜了的半導(dǎo)體)的一個(gè)重要參數(shù)。

將 [公式] 和 [公式] 的表達(dá)式相乘,并考慮關(guān)系 [公式] ,可以得到

[公式]

由上式可知:

①本征載流子濃度與材料,溫度和禁帶寬度有關(guān),而與導(dǎo)帶、價(jià)帶、費(fèi)米能級(jí)無(wú)關(guān)。

②熱平衡狀態(tài)下,電子濃度[公式] 和空穴濃度 [公式]的乘積為定值。

(2)本征半導(dǎo)體的費(fèi)米能級(jí)稱為本征費(fèi)米能級(jí)。我們可以根據(jù)本征半導(dǎo)體 [公式] ,得出本征費(fèi)米能級(jí)在能帶中的具體位置。計(jì)算結(jié)果為

[公式]

可見,本征費(fèi)米能級(jí)大約位于禁帶中央。

我們把[公式]這個(gè)關(guān)系式“拆開",得出半導(dǎo)體(無(wú)論本征與否)電子、空穴濃度與本征載流子濃度,本征費(fèi)米能級(jí)的具體關(guān)系是

[公式]

[公式]

(注:這兩個(gè)公式的指數(shù)部分很好記,只需把上一節(jié)公式中的Ec,Ev對(duì)應(yīng)地?fù)Q成 [公式] 即可)

3.3 載流子濃度與摻雜濃度的關(guān)系

設(shè)本征半導(dǎo)體中摻雜了濃度為 [公式] 的提供電子的施主(Donor)雜質(zhì)(如磷),又摻雜了濃度為 [公式] 的接受電子的受主(Acceptor)雜質(zhì)(如硼)。設(shè)摻雜后電子、空穴濃度分別為[公式] ,[公式],由于本征半導(dǎo)體中電子濃度=空穴濃度,故有 [公式] ,又[公式],聯(lián)立求解并舍去負(fù)根得

[公式]

這一結(jié)果表明,在高摻雜狀態(tài)(本征濃度相對(duì)摻雜濃度可以忽略)下,直接 [公式] 是一個(gè)很好的近似。

四、半導(dǎo)體中的電流——載流子的輸運(yùn)

前三節(jié),我們建立了半導(dǎo)體載流子濃度的表達(dá)式。本節(jié)將開始研究載流子的運(yùn)動(dòng),也就是載流子輸運(yùn)現(xiàn)象。載流子的輸運(yùn)分為兩種基本形式:擴(kuò)散運(yùn)動(dòng),漂移運(yùn)動(dòng)。擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)由濃度梯度引起,漂移運(yùn)動(dòng)由電場(chǎng)引起。

4.1 漂移運(yùn)動(dòng)(Drift)

歐姆定律的微分形式給出漂移電流密度為

[公式]

[公式] ——遷移率

上式是空穴和電子的電流密度之和。由于電子的(-e)和電場(chǎng)力作用方向(-E)抵消,因此兩個(gè)電流用加號(hào)連接。

上式同時(shí)給出了電導(dǎo)率 [公式] (有些書上記為 [公式] )的具體表達(dá)式。

4.2 擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)(Diffusion)

由于擴(kuò)散電流是從高濃度往低濃度擴(kuò)散,亦即同載流子濃度減小率成正比,因此擴(kuò)散電流密度為

[公式]

[公式] ——擴(kuò)散系數(shù)

總電流密度為

[公式]

4.3 遷移率和擴(kuò)散系數(shù)的關(guān)系——愛(ài)因斯坦關(guān)系

愛(ài)因斯坦關(guān)系:在溫度一定時(shí),遷移率與擴(kuò)散系數(shù)的比值為常數(shù)。

[公式]

五、半導(dǎo)體中的過(guò)剩載流子

當(dāng)出現(xiàn)溫升、光照等外施激勵(lì)時(shí),半導(dǎo)體中就會(huì)產(chǎn)生非平衡過(guò)剩載流子。本節(jié)簡(jiǎn)要敘述非平衡載流子的濃度變化。過(guò)剩載流子濃度記作 [公式] , [公式] ,這兩者近似相等(電中性條件)。

5.1 雙極輸運(yùn)方程

由于電子和空穴之間存在吸引力(內(nèi)建電場(chǎng)),因此它們將會(huì)以“電子-空穴對(duì)"的形式一起運(yùn)動(dòng),這就是雙極輸運(yùn)。

雙極輸運(yùn):空穴和電子以相同的遷移率(或擴(kuò)散系數(shù))一起漂移(或擴(kuò)散)的現(xiàn)象稱為雙極輸運(yùn)。

雙極輸運(yùn)方程: [公式]

①雙極擴(kuò)散系數(shù)[公式] ,雙極遷移系數(shù) [公式]

②E:電場(chǎng)強(qiáng)度,包括外電場(chǎng)和內(nèi)建電場(chǎng)(外電場(chǎng)是主要的)

③g,R:生成率,復(fù)合率。g可視為常數(shù), [公式]

由系數(shù)D'和μ'可知,這是一個(gè)變系數(shù)二階偏微分方程。

5.2 摻雜條件和小注入條件

p型半導(dǎo)體的摻雜條件: [公式]

小注入條件: [公式]

由這兩個(gè)條件,可將雙極輸運(yùn)方程轉(zhuǎn)化為常系數(shù)微分方程。

5.3 電荷弛豫

t=0向電中性半導(dǎo)體注入一些正電荷(或負(fù)電荷),恢復(fù)電中性的過(guò)程。

這個(gè)問(wèn)題在《工程電磁場(chǎng)》中已經(jīng)出現(xiàn)過(guò),方法是聯(lián)立電荷守恒方程 [公式] (J的四維散度等于0),歐姆定律 [公式] 和庫(kù)侖定律 [公式] ,解得電荷密度的擴(kuò)散方程為 [公式] 。

5.4 準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí)

過(guò)剩載流子產(chǎn)生后,電子/空穴對(duì)應(yīng)的費(fèi)米能級(jí),求解過(guò)程和前面類似。

[公式] , [公式]

右端代數(shù)式的記憶方法:先記n的。①永遠(yuǎn)是e的負(fù)指數(shù)②系數(shù)的下標(biāo)和e指數(shù)上第一項(xiàng)的下標(biāo)對(duì)應(yīng)(n_i對(duì)應(yīng)E_Fi)。p的就把指數(shù)項(xiàng)的兩個(gè)能級(jí)顛倒。




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