詳細介紹
日本富士工業fuji單組分密度計FUD-1 Model-130
產品總覽
該模型在保持FUD-1 Model-13的優勢(例如可維護性和高精度的在線測量)的同時,還具有用于半導體制造過程的小型單元變送器。
單組分密度計的特點
可以進行實時濃度測量,并且很容易建立濃度控制系統。
- 配備模擬DC 4至20mA和數字RS232C作為標準設備
- 標配測量誤差輸出和報警輸出
- 配備自診斷功能和錯誤信息顯示為標準配置
- 小巧輕便的電池式變送器可以直接安裝在生產線上
- 由于使用PFA的潤濕部件的質量和小產量設計,因此對化學溶液沒有影響。?
優點
- 高精度連續測量
- 免維護,無需定期調整和校準
- 易于安裝,無需在安裝過程中進行各種調整
- 通過實時輸出輕松反饋到過程?
用途
- CMP過程中的CMP漿料或氧化劑濃度控制等
- 控制稀釋過程中各種化學品的濃度(H2O2,TMAH,HNO3,H2SO4,HCl等)
- 清潔過程中的清潔液濃度控制(HF,NH4OH,KOH,IP
?日本富士工業fuji單組分密度計FUD-1 Model-130
規格
格式 | FUD-1模型13 | |
測量參數 | 超聲波傳播速度/溫度 | |
展示 | LCD(濃度/溫度/聲速/各種參數) | |
輸出信號 | 模擬DC4至20mA(可以自由設置濃度值) 數字RS232C(濃度/溫度/聲速/錯誤代碼) 警報上/下限測量錯誤 | |
電源供應 | AC100V-240V 50 / 60Hz(也可以使用DC24V) | |
建造 | 面板安裝類型(符合DIN標準),板載安裝類型(可以選裝在防雨箱中) | |
環境溫度 | 0至50°C相對濕度85%以下(無冷凝) 0至100°C特殊規格-10至160°C(100°C寬度) | |
功能 | 輸出范圍設置,警報輸出設置,濃度顯示移動平均值,濃度顯示偏移和增益設置功能,自診斷功能,故障保護功能,異常值取消 RS485輸出(不能與RS232C同時輸出) | |
選項 | 溫度輸出(DC4-20mA) | |
渠道 | 高達10ch | |
兼容發射器 | 型號13 : SA-20S26 / SA-20S27 / SA-20M5 |