當前位置:北京漢達森機械技術有限公司>>光學儀器>>光學實驗設備>> P-611.3SF德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷系統 納米定位系統 P-611.3SF
德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 壓電陶瓷系統 納米定位系統 P-611.3SF
-20至120 伏時的開環行程:120/軸微米
行程,閉環:100/軸微米
分辨率,開環:0.2納米
分辨率,閉環:1納米
應用領域:
光子學/集成光學
顯微操縱
生物技術
半導體測試
光纖定位
產品參數:
型號:P-611.3SF
主動軸:X、Y、Z
-20至120 伏時的開環行程:120/軸微米
行程,閉環:100/軸微米
分辨率,開環:0.2納米
分辨率,閉環:1納米
線性誤差:0.1%
重復精度:<10納米
X、Y向上的螺距:±5微弧度
θX向上的傾斜(Z向運動):±10微弧度
X向上的偏轉角:±20微弧度
Y向上的偏轉角:±10微弧度
θY向上的傾斜(Z向運動):±10微弧度
剛度:0.3牛/微米
X/Y/Z向上的空載諧振頻率:350/220/250赫茲
帶30克負載時X/Y/Z向上的諧振頻率:270/185/230赫茲
帶100克負載時X/Y/Z向上的諧振頻率:180/135/200赫茲
負載容量:15牛
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷系統 納米定位系統 P-611.3SF
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