當前位置:北京漢達森機械技術有限公司>>光學儀器>>光學實驗設備>> P-733.3CDP德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
產地類別 | 進口 | 產品種類 | 電動 |
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價格區間 | 面議 | 應用領域 | 醫療衛生,電子,綜合 |
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷納米定位器 P-733.3CDP
德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 壓電陶瓷納米定位器 P-733.3CDP
應用領域:
掃描顯微鏡
共聚焦顯微鏡
掩模/晶圓定位
表面測量技術
納米壓印
顯微操縱
圖像處理/穩定
產品參數:
型號:P-733.3CDP
主動軸:X、Y、Z
集成傳感器:電容式
-20至120 伏時的開環行程:115 微米×115 微米×12 微米
行程,閉環:100 微米×100 微米×10 微米
分辨率,開環:0.2(Z向上為0.1)納米
分辨率,閉環:0.3(Z向上為0.2)納米
線性誤差(X、Y):0.03%
線性誤差(Z):0.03%
重復精度(X、Y):<2納米
重復精度(Z):<1納米
螺距(X、Y):<±3微弧度
偏轉角(X、Y):<±10微弧度
Z向運動時的傾斜:<±5微弧度
剛度:1.4(Z向上為9)牛/微米
諧振頻率,空載:460(Z向上為1400)赫茲
帶120 克負載時的諧振頻率:340(Z向上為1060)赫茲
帶200 克負載時的諧振頻率:295(Z向上為650)赫茲
運動方向上的推/拉力:50/20牛
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷納米定位器 P-733.3CDP
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