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當前位置：北京漢達森機械技術有限公司>>光學儀器>>光學實驗設備>> P-733.3CL德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 應用領域 | 醫療衛生,電子,綜合 |
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷納米定位器 P-733.3CL
德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 壓電陶瓷納米定位器 P-733.3CL
應用領域：
掃描顯微鏡
共聚焦顯微鏡
掩模/晶圓定位
表面測量技術
納米壓印
顯微操縱
圖像處理/穩定
產品參數：
型號：P-733.3CL
主動軸：X、Y、Z
集成傳感器：電容式
-20至120 伏時的開環行程：115 微米×115 微米×12 微米
行程，閉環：100 微米×100 微米×10 微米
分辨率，開環：0.2（Z向上為0.1）納米
分辨率，閉環：0.3（Z向上為0.2）納米
線性誤差（X、Y）：0.03%
線性誤差（Z）：0.03%
重復精度（X、Y）：<2納米
重復精度（Z）：<1納米
螺距（X、Y）：<±3微弧度
偏轉角（X、Y）：<±10微弧度
Z向運動時的傾斜：<±5微弧度
剛度：1.4（Z向上為9）牛/微米
諧振頻率，空載：460（Z向上為1400）赫茲
帶120 克負載時的諧振頻率：340（Z向上為1060）赫茲
帶200 克負載時的諧振頻率：295（Z向上為650）赫茲
運動方向上的推/拉力：50/20牛
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 壓電陶瓷納米定位器 P-733.3CL
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