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德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 控制器 壓電控制器 E-709.SR
一、E-709.SR控制器產品特點：
0.02%線性誤差，應變片式傳感器（可選壓阻式傳感器，電容式傳感器）
二、E-709.SR控制器產品應用領域：
E-709.SR控制器主要應用領域為共聚焦顯微鏡，3D成像，表面分析，晶圓檢驗。
三、E-709.SR控制器產品參數：
產品參數：
傳感器類型：應變片傳感器
功能：用于單軸壓電陶瓷納米定位系統的數字式控制器（.SR：OEM板）
軸：1
處理器：DSP32位浮點，150兆赫茲
控制器類型：PID，兩個陷波濾波器，傳感器線性化
采樣率，伺服控制：10千赫茲
采樣率，傳感器：10千赫茲
傳感器參數：
線性化：5階多項式
傳感器帶寬：5千赫茲
傳感器分辨率：16位
外同步：否
放大器參數：
輸出電壓：-30伏至130伏
峰值功率（<5毫秒）：10瓦
平均輸出功率（>5毫秒）：5瓦
峰值電流（<5毫秒）：100毫安
平均輸出電流（>5毫秒）：50毫安
電流限制：防短路
分辨率DAC：17位
接口參數：
通信：USB、RS-232、SPI
壓電陶瓷/傳感器連接器：D-sub9（母頭）
輸入/輸出：HDD-sub26針（母頭），1路模擬量輸入為0至10伏（可配置），1路模擬量輸出為0至10伏（可配置），1路監控器壓電電壓為-0.3至1.3伏，1個數字輸入（LVTTL、可編程），5個數字輸出（LVTTL、3個為預定義、2個為可編程）
指令集：PIGeneralCommandSet(GCS)
用戶軟件：PIMikroMove
支持功能：波形發生器、數據記錄器、自動調零、觸發I/O
顯示器和指示燈：狀態指示燈，溢流指示燈
其他參數：
工作溫度范圍：5至50攝氏度（40攝氏度以上，功率下降）
尺寸：160毫米×96毫米×33毫米
質量：260克/470克
工作電壓：24伏直流（適用于.SRG含在發貨范圍內：外部電源）
功耗：24瓦
德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 控制器 壓電控制器 E-709.SR
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