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北京漢達(dá)森機(jī)械技術(shù)有限公司
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H-824.G2-德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái)
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電氣產(chǎn)品
原料
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零部件
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減速機(jī)
光學(xué)儀器
噴油器
監(jiān)測(cè)設(shè)備
德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái),10公斤負(fù)載,45毫米/25度行程,0.3微米位移,±0.1微米/±2微弧度重復(fù)精度,25毫米/秒運(yùn)動(dòng)速度。

德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 六足位移臺(tái) 六足臺(tái) H-824.G2


一、H-824.G2六足位移臺(tái)產(chǎn)品特點(diǎn):

10公斤負(fù)載,45 毫米/25度行程,0.3微米位移,±0.1 微米/±2微弧度重復(fù)精度,25毫米/秒運(yùn)動(dòng)速度。

二、H-824.G2六足位移臺(tái)產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域:

H-824.G2六足位移臺(tái)主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)?/span>顯微操縱,生物技術(shù),半導(dǎo)體制造

三、H-824.G2六足位移臺(tái)產(chǎn)品參數(shù):

行程參數(shù):

主動(dòng)軸:XYZ,θX,θY,θZ

XY向上的行程:±22.5毫米

Z向上的行程:±12.5毫米

θX、θY向上的行程:±7.5

θZ向上的行程:±12.5

精度參數(shù):

促動(dòng)器設(shè)計(jì)分辨率:0.007微米

XYZ向上的位移:0.3微米

θX、θY、θZ向上的位移:3.5微弧度

XY向上的空回:2微米

Z向上的空回:0.7微米

θX、θY向上的空回:14微弧度

θZ向上的空回:17微弧度

XY向上的重復(fù)精度:±0.25微米

Z向上的重復(fù)精度:±0.1微米

θX、θY向上的重復(fù)精度:±2微弧度

θZ向上的重復(fù)精度:±2微弧度

XYZ向上的速度:1毫米/

θX、θY、θZ向上的速度:11毫弧度/

Typ.XYZ向上的典型速度:0.5毫米/

Typ.θX、θY、θZ向上的速度:5.5毫弧度/

負(fù)載參數(shù):

XY向上的剛性:1.7/微米

Z向上的剛性:7/微米

負(fù)載能力(底板為水平方向):10千克

負(fù)載能力(底板為任意方向):2千克

保持力(斷電、底板為水平方向):100

保持力(斷電、底板為任意方向):50

其他參數(shù):

電機(jī)類型:直流齒輪電機(jī)

工作溫度范圍:-1050°C

材料:鋁

質(zhì)量:8千克

電纜長(zhǎng)度:3


德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 六足位移臺(tái) 六足臺(tái) H-824.G2


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