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電子束蒸發鍍膜機

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  • 型號 qirui
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質 經銷商
  • 所在地 上海市
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更新時間:2020/11/01 00:07:22瀏覽次數:2637

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產品簡介

產地類別 進口 應用領域 化工,能源,電子,印刷包裝,電氣
電子束蒸發系統是化合物半導體器件制作中的一種重要工藝技術。它是在高真空狀態下由電子束加熱坩堝中的金屬,使其熔融后蒸發到所需基片上形成金屬膜。可蒸發很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料,包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5電子束蒸發鍍膜機是英國牛津真空公司生產,臺式設計、軟件自動操控、高性價比,非常適合實驗室科研使用。

詳細介紹

電子束蒸發鍍膜機
電子束蒸發系統是化合物半導體器件制作中的一種重要工藝技術。它是在高真空狀態下由電子束加熱坩堝中的金屬,使其熔融后蒸發到所需基片上形成金屬膜。可蒸發很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料,包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5電子束蒸發鍍膜機是英國牛津真空公司生產,臺式設計、軟件自動操控、高性價比,非常適合實驗室科研使用。

技術規格:
- 基底尺寸:3英寸,4英寸,6英寸;
- 基底旋轉:0~10rpm;
- 電子束源:Telemark電子束源,單袋或多袋電子束源可選;
- 熱蒸發源:多配置2套熱蒸發舟(選配);
- 腔體:不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇;
- 泵:前級干泵,分子泵;
- Load Lock樣品傳輸腔室:手動或自動傳輸,高真空,支持多種樣品襯底(選配);
- 工藝控制:PC/PLC機制的自動控制、數據處理、遠程支持;
- 原位監控:石英晶振監測(QCM),光學監測,殘余氣體分析,其他原位監測技術或控制;
- 襯底固定:單襯底固定,客戶化襯底固定方式;
- 襯底夾具:加熱,冷卻,偏置,旋轉等;

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