一、產(chǎn)品介紹

SJ6000精密激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

二、產(chǎn)品配置

SJ6000精密激光干涉儀具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

主要應(yīng)用場(chǎng)合：

1. 線性反射鏡的重量可能影響到被測(cè)軸系的機(jī)械性能或精度；

2. 線性反射鏡的尺寸遇到較為困難的裝夾場(chǎng)合；

三、應(yīng)用實(shí)例

1、輕型線性鏡組附件應(yīng)用實(shí)例：

2、可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡 —— 斜軸的測(cè)量

可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡本質(zhì)是可實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)的平面反射鏡，通過(guò)旋轉(zhuǎn)鏡面可將光束偏轉(zhuǎn)25°~90°的角度，通常用于斜軸的測(cè)量。

可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡及其光路原理構(gòu)建圖

3、可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡應(yīng)用實(shí)例：

斜床的傾斜軸測(cè)量

四、角度測(cè)量原理

1、角度反射鏡旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生轉(zhuǎn)角，或是移動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生角擺，兩束反射光會(huì)有相對(duì)應(yīng)的光程差產(chǎn)生，SJ6000采集到該光程差的干涉信號(hào)，經(jīng)過(guò)運(yùn)算處理，即可得出對(duì)應(yīng)的角度值。

角度測(cè)量的光路原理構(gòu)建圖

2、角度測(cè)量配置及使用方法

角度測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、角度鏡組、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成，可滿足±10°范圍內(nèi)的角度測(cè)量。

3、角度測(cè)量應(yīng)用

主要應(yīng)用于運(yùn)動(dòng)軸的角擺測(cè)量和轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度測(cè)量。

五、直線度測(cè)量原理

1、直線度干涉鏡在移動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生橫向或縱向位移時(shí)，兩束反射光會(huì)有相對(duì)應(yīng)的光程差產(chǎn)生，SJ6000采集到該光程差的干涉信號(hào)，經(jīng)過(guò)運(yùn)算處理，即可得出對(duì)應(yīng)的直線度值。

2、直線度測(cè)量配置及使用方法

直線度測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、短直線度鏡組（或長(zhǎng)直線度鏡組）、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成，可滿足±3mm范圍內(nèi)的直線度測(cè)量。

3、直線度附件

直線度附件由大角錐反射鏡、90度轉(zhuǎn)向鏡和直線度底座構(gòu)成。

4、應(yīng)用場(chǎng)合：

適用于直線度反射鏡不便于安裝在Z軸的上端或是運(yùn)動(dòng)軸的后端。

六、平行度測(cè)量原理

1、平行度測(cè)量是在直線度測(cè)量的基礎(chǔ)上而擴(kuò)展的應(yīng)用。平行度測(cè)量由平行軸的兩組直線度測(cè)量組成，參見(jiàn)下面平行度測(cè)量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測(cè)量過(guò)程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整。由第1運(yùn)動(dòng)軸的斜度θ1中減去第2運(yùn)動(dòng)軸的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ2。

2、平行度測(cè)量配置

平行度測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、短直線度鏡組（或長(zhǎng)直線度鏡組）、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成。Z軸的平行度測(cè)量需增添可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡。

七、垂直度測(cè)量原理

1、垂直度的測(cè)量是直線度測(cè)量在二維方向上的延伸。垂直度測(cè)量由正交軸的兩組直線度測(cè)量組成，詳見(jiàn)下面垂直度測(cè)量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測(cè)量過(guò)程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整；光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線度測(cè)量中，允許調(diào)整激光束與軸的準(zhǔn)直。垂直度誤差＝光學(xué)直角尺誤差－斜度θ1－斜度θ2。

2、垂直度測(cè)量配置

垂直度測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、短直線度鏡組（或長(zhǎng)直線度鏡組）、垂直度鏡組（含光學(xué)直角尺）、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成。Z軸的垂直度測(cè)量需增添直線度附件。

八、平面度測(cè)量原理

1、平面度的測(cè)量是在角度測(cè)量的基礎(chǔ)上進(jìn)行的延伸。平面度測(cè)量一般采用“對(duì)角法"在平面上進(jìn)行相應(yīng)次數(shù)的角度測(cè)量，通過(guò)軟件算法可將角度的變化轉(zhuǎn)換為平面上高度的變化，進(jìn)而得到整個(gè)平面的平面度。

2、對(duì)角線法又稱米字法，在平面度測(cè)量時(shí)，若激光干涉儀主機(jī)位于G點(diǎn)，激光束與線GE重合，建議按照EA、CA、DH、EG、AG、BF、CE、GC的次序進(jìn)行測(cè)量。

3、平面度測(cè)量配置

平面度測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、角度鏡組、平面度鏡組、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成。其中，平面度鏡組由180mm可調(diào)基板、360mm可調(diào)基板和平面度旋轉(zhuǎn)鏡構(gòu)成。

九、回轉(zhuǎn)軸測(cè)量原理

1、回轉(zhuǎn)軸測(cè)量需借助WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)，與SJ6000角度測(cè)量配合使用。將WR50連接到回轉(zhuǎn)軸上，作為測(cè)角標(biāo)準(zhǔn)器，WR50可實(shí)現(xiàn)0~360°的角度測(cè)量范圍，±1″的測(cè)量精度，高轉(zhuǎn)速為10rpm。

2、假設(shè)回轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)了5°，相連的WR50則反轉(zhuǎn)5°，相對(duì)于SJ6000角度測(cè)量而言并未產(chǎn)生角度偏轉(zhuǎn)，基于該原理即可實(shí)現(xiàn)回轉(zhuǎn)軸0~360°的高精度測(cè)量。

3、回轉(zhuǎn)軸測(cè)量軟件會(huì)將WR50的角度值和SJ6000角度值合并進(jìn)行計(jì)算，作為回轉(zhuǎn)軸實(shí)際轉(zhuǎn)動(dòng)的角度值.

4、回轉(zhuǎn)軸測(cè)量配置及使用方法

回轉(zhuǎn)軸測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、角度鏡組、WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成。

十、動(dòng)態(tài)測(cè)量概述

1、SJ6000動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件搭配線性鏡組、角度鏡組或直線度鏡組可以進(jìn)行相應(yīng)的線性、角度或直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)。

2、動(dòng)態(tài)測(cè)量包括基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測(cè)量和基于距離的動(dòng)態(tài)測(cè)量，SJ6000動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件可對(duì)動(dòng)態(tài)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行位移分析、速度分析、加速度分析、振幅與頻率分析等。

3、動(dòng)態(tài)測(cè)量應(yīng)用

基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測(cè)量

十一、產(chǎn)品功能特點(diǎn)

1. 精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

2. 功能廣

• 可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；

• 可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

• 可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；

• 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

• 具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

• 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

3. 軟件強(qiáng)

• 友好的人機(jī)界面；

• 豐富的應(yīng)用功能模塊；

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• 簡(jiǎn)潔化的記錄管理；

• 支持中文、英文和俄文界面；

• 支持企業(yè)專屬模板定制。