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氣體質(zhì)量流量傳感器FS4000系列（FS4003和FS4008）產(chǎn)品概述
FS4000系列質(zhì)量流量傳感器是采用的微機電系統(tǒng)流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù)，為普通氣體流量監(jiān)測開發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測量氣體質(zhì)量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）
FS4003氣體質(zhì)量流量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，成本低測量范圍到5SLPM；適用于
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
氣體質(zhì)量流量傳感器FS4000系列(FS4003和FS4008)產(chǎn)品主要特性
1）為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設(shè)計
2）支持多種連接方式，易于安裝與使用
3）傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量
4）在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高
5）輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
6）零點穩(wěn)定度高
7）全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
8）低功耗、低壓損
9）響應(yīng)速度快
三、 氣體質(zhì)量流量傳感器FS4000系列(FS4003和FS4008)產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
性能參數(shù) | FS4003 | FS4008 | 單位 |
通 徑 | 3 | 8 | mm |
流量 | 2, 3, 4, 5 | 10, 20, 30, 40, 50 | SLPM |
量程比 | 100:1 |
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精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
重復(fù)性 | 0.75 | % | |
零點輸出飄移 | ±30 | mV | |
輸出飄移 | ±0.12 | %/oC | |
響應(yīng)時間 | 10（默認(rèn)，可設(shè)置20,50,100,200,500,1000） | ms | |
工作電源 | 8~18Vdc,100mA |
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輸出方式 | 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc |
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流量壓損 | 100 | 600 | pa |
工作壓力 | 0.5 | MPa | |
工作溫度 | -10 ~ +55 | ℃ | |
存儲溫度 | -20 ~ +65 | ℃ | |
工作濕度 | <95%RH（無結(jié)冰、無凝露） |
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機械接口 | BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭 | BSPT1/4(R1/4) |
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校準(zhǔn)方式 | 空氣（或其他氣體），20℃，101.325kPa |
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重量 | 57（帶R1/4,BSPT1/4接口） | g | |
71 (帶4mm，8mm快速接口) | |||
68（帶6mm快速接頭) | |||