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溫濕度發生器-原理圖
1.儲罐中的去離子水，通過精密注射泵泵加入精密蒸發器中，去離子水得流量連續可調；
2.精密蒸發器將液態水100%蒸發，并且保證蒸汽流量波動小于2%；
3.通過載氣泵向設備主體內吸入空氣到汽化器內將汽化后的原液與空氣混合。
溫濕度發生器-技術參數
型號 | HG-01A | HG-05A | HG-20A | HG-100A |
總氣體流量(可定制) | 100-1000mL/min | 1-5L/min | 5-20L/min | 20-100L/min |
工作電壓 | 220V AC | 220V AC | 220V AC | 220V AC |
工作壓力 | 常壓；（負壓高壓可定制） | |||
工作溫度 | 常溫-80℃； | |||
濕度范圍 | 5-95%； | |||
濕度精度 | ±2%； | |||
濕度穩定性 | 優于2%； | |||
濕度分辨率 | ±2%； | |||
流量精度 | ±1%； | |||
流量分辨率 | ±1%； | |||
使用壽命 | ≥5年 | |||
外形尺寸（可定制） | 260*320*260mm（依據總氣流量量變化） | |||
注射泵 | ||||
每微步注射量 | 0.13uL | |||
線速度范圍 | 4.69u1/min-270.00m1/min | |||
流量范圍 | 0.0001uL/min-158.909m1/min | |||
線性推力 | >3kgf | |||
控制精度 | 控制精度 當>30%滿行程時，控制誤差≤±0.5％ | |||
重復精度 | ≤±0.3％ | |||
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