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產品型號 | GSL-1100X-SPC-16C濺射蒸鍍膜儀 | ||
主要特點 | 配備了熱蒸發附件，可以蒸發碳絲或者其他材料，如鋁、不銹鋼等材料，同時具有濺射和蒸發的功能。因此擴 展了應用范圍，特別適用于掃描電鏡樣品的制備。 | ||
技術參數 | 1、靶：Φ50mm 2、樣品臺：Φ50mm 3、真空室：Φ160mm×110mm 4、真空度：4×10-1mbar-2×10-2mbar 5、zui大電流：50mA 6、可設定zui長時間：9999s 7、zui高電壓：1600V DC可調 8、真空泵：4L兩級機械旋轉泵，極限真空2×10-2mbar | ||
標準配件 | 1 | 金靶材 | 1個 |
2 | 碳繩 | 1根 | |
3 | 鎢絲籃 | 2個 | |
4 | 熱蒸發附件 | 1套 | |
5 | 進氣針閥 | 1個 | |
6 | 保險絲 | 2個 | |
可選配件 | 金、銦、銀、白金等各種靶材 | ||
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