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產品型號 | 1100℃雙管三溫區管式爐（石墨烯生長）GSL-1100X-III-D11-8 |
主要特點 | 1、雙層殼體，配有風冷系統，殼體溫度<70℃。內爐膛采用高純度氧化鋁材料，可以zui大程度的減少能量的損失 。 2、采用不銹鋼真空密封法蘭，使用硅膠密封圈進行密封。 3、采用三個PID控制器 ，可以設置30段升降溫程序。 4、加熱前需將石英管堵放入爐管，防止熱量以熱輻射的形式散失。 5、使用內管進行薄膜生長可放置zui大8″的基片。 6、已通過CE認證。 |
技術參數 | 1、電源：單相AC 220V 50/60Hz 8KW（需50A的空氣開關） 2、石英管：外管外徑Φ279mm，內徑Φ269mm，長1300mm，兩端打開，可連接法蘭 內管外徑Φ216mm，內徑Φ206mm，長750mm，一端封閉，一端連接氣體出入口 3、加熱元件：NiCrAl電阻絲 4、加熱區域：長900mm 5、溫區：3個，各300mm長 6、恒溫區域：500mm（三個溫區設置一樣的溫度） 7、工作溫度：zui高1100℃（<1h），連續工作200℃-1000℃ 8、zui大升降溫速率：10℃/min 9、熱電偶：3個，K型 10、控溫精度：±1℃ 11、真空度：10-2torr（機械泵） 12、法蘭：左側法蘭包括化學氣相淀積進氣口和冷卻氣體進出口，右側法蘭設有KF-40真空接口和真空閥門 |
產品規格 | 尺寸：不包含真空法蘭1300mm×623mm×940mm，包含真空法蘭1670mm×623mm×940mm 重量：200kg |
可選配件 | 1、石英管堵 2、PC控溫軟件 3、KF-40轉KF-25接頭 |
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