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產品型號

　PCE-6V小型等離子清洗機

主要特點

   1、采用氣體作為清洗介質，避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。

   2、可短時間內*清洗掉有機污染物。

   3、清洗程度可達到分子級。

   4、可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。

   5、清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性，并可消毒和殺菌

         。

   6、樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現離子蝕刻。

   7、廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫學、微觀流體

         學等領域。

技術參數

   1、電壓：AC220V  10A

   2、消耗功率：<500W（包括真空泵）

   3、RF電源：輸出功率100W，輸出頻率13.56MHz

   4、腔體：Φ190mm×98mm

   5、石英管：Φ180mm×55mm，壁厚7mm

   6、內腔：Φ165mm×55mm

   7、清洗電極：Φ120mm

   8、樣品臺：Φ150mm，有效尺寸Φ140mm

   9、樣品臺與電極間距：15mm-50mm可調

   10、抽氣管：Φ12mm

   11、極限真空度：0.1Pa

   12、工作真空度：60Pa-500Pa

   13、氣路數量：2路（選裝）

   14、流量控制器數量：1、2

   15、流量顯示儀：2通道

   16、氣路接口：Φ6mm

   17、加熱樣品臺：Φ140mm，加熱樣品溫度RT-600℃±1℃（選裝）

   18、冷卻水壓力：0.2KPa-0.4KPa

   19、工作環境：溫度5℃-35℃，濕度<80%（相對濕度）不結露，海拔高度0-2000m

產品規格

　尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵），重量：20kg（不含真空泵）

可選配置

   1、加熱樣品臺

   2、流量控制器（量程10、50、100，zui多可增加2個通道）