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產品型號 | VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀 | ||
主要特點 | 1、配置三個靶槍，一個為配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜，兩個為配套直流電源用于導電性材料的濺 射鍍膜。（靶槍可以根據客戶需要任意調換） 2、可制備多種薄膜，應用廣泛。 3、體積小，操作簡便。 4、整機模塊化設計，真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設計，可根據用戶實際需要調整購買需 求。 5、可根據用戶實際需要選擇電源，可以一個電源控制多個靶槍，也可多個電源單一控制靶槍。 | ||
技術參數 | 1、電源電壓：220V 50Hz 2、總功率：2.5KW 3、極限真空度：< ?E-6mbar（配合本公司設備使用可達到?E-5mbar） 4、工作溫度：室溫-500℃，精度±1℃（可根據實際需要提升溫度） 5、靶槍數量：3個 6、靶槍冷卻方式：水冷 7、靶材尺寸：Φ2″，厚度0.1-5mm（因靶材材質不同厚度有所不同） 8、直流濺射功率：500W（可選） 9、射頻濺射功率：300W/500W（可選） 10、載樣臺：Φ140mm 11、載樣臺轉速：1-20rpm內可調 12、保護氣體：Ar、N2等惰性氣體 13、進氣氣路：質量流量計控制2路進氣，每個流量為100SCCM | ||
產品規格 | 主機尺寸：500mm×560mm×660mm，整機尺寸：1300mm×660mm×1200mm；重量：160kg | ||
標準配件 | 1 | 直流電源控制系統 | 1套 |
2 | 射頻電源控制系統 | 1套 | |
3 | 膜厚監測儀系統 | 1套 | |
4 | 分子泵（德國進口） | 1臺 | |
5 | 冷水機 | 1臺 | |
6 | 冷卻水管（Φ6mm） | 4根 | |
7 | 靶材（不銹鋼靶、陶瓷靶） | 各1件 | |
可選配件 | 金、銦、銀、白金等各種靶材 | ||
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