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產品型號 | 500W直流濺射電源DC-500-LD |
技術參數 | 1、輸入電壓:AC 220V 2、zui大輸出功率:500W 3、zui大輸出電壓:DC 600V 4、電壓分辨率:DC 1.0V 5、zui大輸出電流:DC 0.8A 6、電流分辨率:1mA 7、控制精度:±1% |
產品規格 | 尺寸:440mm×160mm×440mm |
可選配件 | 1、2"高真空磁控濺射頭,可自行搭建RF或DC濺射鍍膜儀。
2、同時購買300W射頻發射器和2"磁控濺射頭時,本司贈送1個高真空快速接頭。接頭內徑為0.75",可將濺射 頭安裝在真空腔體上,真空腔體上的安裝孔直徑為1",真空腔體的壁厚不得大于1"。
3、循環水冷機,流量為16L/min,水箱容積為6L。 |