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CVD管式爐使用注意事項說明
閱讀：1488 發布時間：2022-5-17
1. 冷爐使用時，由于管式爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過快，各溫度段的升溫速率差別不易太大，設置升溫速率時應充分考慮所燒結材料的物理化學性質，以免出現噴料現象，污染爐管。爐膛的溫度大于等于200攝氏度是，禁止打開爐膛，避免受到傷害。
2. 定期檢查溫度控制系統的電器連接部分的接觸是否良好，應特別注意加熱元件的各連接點的連接是否緊固，避免出現電路故障。
3.CVD管式爐使用或長時間不用后，要在120℃左右烘烤1小時，在300℃左右烘烤2小時后使用，以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度，以免損壞加熱元件及爐體。禁止向爐膛內直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內的清潔。
4.設備使用時，爐管內的壓力不得超過0.02MPa以防止壓力過大造成設備損壞；當爐體的溫度高于1000攝氏度時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內需是常壓常壓狀態，與大氣壓基本保持一致；在對樣品加熱時，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥、進氣閥。若要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的顯示值，絕對壓力表讀書不要大于0.02MPa必須立刻打開排氣閥門，以防發生意外。
5. 爐膛若采用石英管，當溫度高于1000℃時，石英管的高溫部分會出現不透明現象，這叫失透是石英管的一個固有缺陷，屬正?，F象。