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產品簡介
OTL1200單溫區CVD系統由供氣系統+管式爐+抽氣系統，最高溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區間可以是單溫區、雙溫區、三溫區等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。
詳細介紹
OTL1200單溫區CVD系統由供氣系統+管式爐+抽氣系統，最高溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區間可以是單溫區、雙溫區、三溫區等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。 是由3路供氣系統+OTL1200雙管式爐+真空系統組成。
OTL1200單溫區CVD系統以進口電阻絲瑞典（Canthal）為加熱元件，采用雙層殼體結構和日本島電控溫儀表，能進行40段程序控溫，移相觸發、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點，是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品。
(1)、表面溫度高可達1420℃
(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識別時要注意）、不會生銹，使用時間再長都不會掉渣。
(3)、Kanthal電阻絲資料下載
(4)、Kanthal電阻絲
(5)、電阻均衡、溫場均衡性好
當電路過流或漏電時，空開會自動斷開。
該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出
1、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用日本技術成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本*的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場
4、采用4周加熱，溫場更加均衡