化學氣體刻蝕系統 Certas Leaga

Certas LEAGA是一種率的系統，除了Certas WING的基本性能之外，還可以滿足單個平臺上的多個流程需求。針對當前和下一代設備的大量生產，LEAGA具有易于配置的主機，可以進行優化，以匹配所需的應用程序。擴展了Certas系列的工藝技術，現在可以控制多種類型氧化硅薄膜中的蝕刻選擇性，從非選擇性到高度選擇性，為從大批量生產到下一個廣泛應用的關鍵接口提供控制一代發展。

特征
的干氣去除選擇性范圍廣的選擇氧化膜

集群雙晶圓腔室設計提供靈活的模塊配置

應用
二氧化硅膜去除和回蝕

在硅接觸之前進行預清潔