PGI Dimension球光潔度測試

泰勒霍普森輪廓儀基于Taylor Hobson 的兩項核心技術...

?    非球面輪廓測定法和高精度圓度...

?    快速尋找光軸頂點，更精確地測量面形

泰勒霍普森輪廓儀主要特性:

?    形狀測量重復性<100納米* (典型 <50納米)

?    邊緣測量角度達到85度

?    測量直徑超過200毫米 (矢高 <20毫米)

?    全自動調新調平

?    采用全新的調整機構適合各種部件調整 (包括陡峭、平坦或小矢高零件等)

?    快速三維測量 & 分析帶來的高產出

?    全自動測量程序

?    全自動分析與輸出顯示

?    非球面分析軟件

?    具有未知表面逆推系數的分析能力(AAU)

?    3D 散光分析和