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當前位置：入江貿易（東莞）有限公司>>Vatvalve>> 61328-KAAE-0001vatvalve蝶形控制閥
| 電動機功率 | 2kW | 外形尺寸 | 8*1mm |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子,交通,汽車,電氣 | 重量 | 2.2kg |
vatvalve蝶形控制閥 61328-KAAE-0001
61.3 蝶形控制閥可提供出色的壓力控制性能。憑借其快速且精準的作用動作控制器（0.1 秒），61.3 蝶形控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細控制的理想解決方案。閥板可充當節流元件，改變閥門開度的流導特性。61.3 蝶形控制閥的集成壓力控制器可計算所需的閥板位置，以盡快實現設定壓力。
該系列產品專為氣流中有粒子的惡劣下游工藝設計。即使粒子載荷高并且存在因設計而沉積的碎屑，61.3 蝶形控制閥仍能夠保持正常運行。
61.3 系列已經安裝在數千個各種工藝條件下的要求苛刻的應用中，證明了其可靠性。憑借堅固的設計、直接安裝選項，以及簡單且輕松的維護，61.3 系列在各個方面都令人信服。
閥體材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自適應、固定 PI 下游/軟抽）方面的各種設計選項可簡化在不同真空應用中的集成。
特點：
好的壓力控制
運行非常快
板載軟件，用于本地運行
惡劣工藝條件下可實現可靠運行
優勢：
工藝可控性更好
正常運行時間長/性能不受限
運行成本低
技術參數：
尺寸
DN 25 (1")
驅動器
步進電機
材料
鋁
法蘭
ISO-KF
控制器配置
SPS
控制器接口+感應器
邏輯（A/D）/2個感應器
低壓力
1 × 10-8 mbar
最高壓力
1.2 bar (abs)
泄漏率
1 × 10-9 ls-1
循環直到第一次維修
2 000 000
最高溫度閥體
≤ 150 °C
密封
FKM
閘門上的壓差
≤ 1 bar
典型的關閉或開放時間
90 ms
最小可控電導率(N2分子流)
0.15 ls-1
最大電導率(N2分子流)
22 ls-1
重量
2.2 kg / 4.85 lbs
vatvalve蝶形控制閥 61328-KAAE-0001
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