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當前位置：入江貿易（東莞）有限公司>>Vatvalve>> 12136-JA03vatvalve超高真空閥閥門
| 電動機功率 | 5kW | 外形尺寸 | 8*1mm |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 石油,能源,電子,汽車,電氣 | 重量 | 2kg |
過程控制和隔離
真空和氣體流的高精度控制和隔離在半導體制造中是至關重要的。在上游和下游過程中，所有的閥門功能必須保證在大量的循環中具有精確的重復性。其結果是：在規定的時間間隔內精確的體積流量和一致的、可靠的密封。VAT控制和隔離閥在此設定了標準。
用于半導體制造的控制和隔離的VAT真空閥組合總是根據特殊的要求而定制方案。根據不同的要求和應用領域，各個系列的性能參數和使用的閥門技術總是適應每個案例中客戶的具體需求。其主要特點包括，可適應的打開和關閉周期，穩定的自適應密封，先進的控制器技術，可實現高精度的控制，防止顆粒的激活和釋放，以及高制造質量，保證所制造的每個閥門都有確定的、穩定的性能參數。要了解更多關于VAT真空閥解決方案如何解決控制和隔離方面的挑戰，請從下面列出的系列中選擇。
vatvalve超高真空閥f閥門12136-JA03
2.1 全真空閘閥關鍵特點
特點:
設計可靠、成熟
避免產生顆粒的 VATLOCK 技術
機械鎖定在關閉位置
優勢:
性能可靠
分體式設計，易于清潔
購置成本低
技術數據
尺寸 DN 63 – 320 mm (2?" – 12")
驅動器氣動 雙作用
手動 帶推桿
閥體材料 鋁
進給機構 軸進給機構
標準法蘭 ISO-F, JIS
泄漏率閥體 < 1 × 10-9 mbar ls-1
閥座 < 1 × 10-9 mbar ls-1
壓力范圍 1 × 10-10 mbar to 1.6 bar (絕對壓強) (DN 63 – 200)
1 × 10-10 mbar to 1.2 bar (絕對壓強) (DN 250 – 320)
閥板可承受壓差閥板 ≤ 1.6 bar (DN 63 – 200)
≤ 1.2 bar (DN 250 – 320)
打開時 ≤ 30 mbar
維護前開關次數 20萬次 (DN 63 – 100)
10萬次 (DN 160 – 320)
溫度閥體 ≤ 120 °C
手動和氣動驅動器 ≤ 80 °C
電磁閥 ≤ 50 °C
位置指示器 ≤ 80 °C
加熱和冷卻速率 ≤ 30 °C h-1
材質閥體 EN AW-5083 (3.3547,
EN AW-6061 (3.3211) (DN 63 – 100)
EN AC-42100 (3.2371) (DN 160 – 320)
機構 AISI 304 (1.4301) (DN 63 – 100)
EN AW-6082 (3.2315) (DN 160 – 320)
密封閥帽、閥板 氟橡膠（例如 Viton®）
安裝位置 任何位置
電磁閥 24 VDC，5.4 W（可根據要求提供其他值）
位置指示器：觸點額定值電壓 ≤ 250 VAC ≤ 50 VDC
電流 ≤ 2 A ≤ 1.2 A
閥門位置指示 視覺（機械）
超高真空隔離的標準
真空隔離標準
出色的可靠性
快速且精準的下游壓力控制
快速且精準的下游壓力控制和隔離
高壓高溫解決方案
適用于高循環真空控制和隔離
適用于標準真空控制和隔離
可優化半導體與顯示器系統中的下游壓力控制和隔離
高過程壓力、低流量腐蝕性蝕刻應用的理想之選
流量優化壓力控制
體積小巧，性能出眾
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