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64.2 高真空控制閘閥
適用于高循環真空控制和隔離
可靠精確地控制標準真空工藝
64.2 高真空控制閘閥設計用于在濺射或蝕刻工藝等高循環真空工藝中進行可靠精確的控制和隔離。該系列滿足耐用性、模塊性和可維護性的標準要求，并且特別注重長正常運行時間和低購置成本。
64.2 高真空控制閘閥采用 VATLOCK 技術，可提供可靠的密封，同時不會在閥板密封處產生任何摩擦。閥板可充當節流元件，改變閥門開度的流導特性。設備上壓力控制器可計算所需的閥板位置以達到規定的設定點壓力。步進電機進行驅動，同時編碼器監控閥板位置。這樣可確?？焖贉蚀_地控制過程壓力。位于關閉位置的專用 VATLOCK 鎖定機制能夠確保在斷電的情況下，將密封隔離與故障保護關閉相結合。
64.2 高真空閘閥已經安裝在數千個各種工藝條件下的要求苛刻的應用中，證明了其可靠性。憑借自身堅固的設計，64.2 高真空控制閘閥滿足高循環真空控制閘閥的所有要求。
為確保實現與各種真空應用的最佳集 成，64.2 高真空控制閥提供不同的設計變體，包括有不同選擇的密封材料、法蘭連接、粗抽（旁路）連接、排氣或計量表以及特殊控制算法（自適應、固定 PI 下游/軟抽）。
如果需要在有限的安裝空間內安裝 64.2 高真空控制閘閥，則可將驅動器和控制器安裝在閥體的不同位置。此外，控制器可與閥門驅動器分開安裝。
該系列的尺寸為 DN 100 - 400 mm (4" - 16")。
64.2 高真空控制閘閥主要特點
特點:
設計可靠、成熟
VATLOCK 技術
堅固的不銹鋼閥體
高循環設
優勢:
可靠精確的控制和隔離性能
免維護周期延長
購置成本低
技術數據
尺寸 DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10"),
DN 320 (12"), DN 350 (14"), DN 400 (16")
驅動器 帶有步進電機的集成壓力控制器
閥體材料 不銹鋼
饋通件 旋轉饋通件
標準法蘭 ISO-F, CF-F, ASA-LP/ASA, JIS
泄漏率閥體、閥座 < 1 × 10-9 mbar ls-1
壓力范圍DN 100 – 200
DN 250 – 400 1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)
1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)
閥板可承受壓差（閥門關閉）DN 100 – 200
DN 250 – 400 ≤ 2 bar
≤ 1.2 bar
打開時可承受壓差 ≤ 30 mbar
維護前開關次數壓力控制關閉/打開 100 萬次20 萬次
溫度閥體控制器 ≤ 150°C最大 50℃（建議 ≤35℃）
材料閥體、閥門 AISI 304 (1.4301)
機構 AISI 301 (1.4310), AISI 304 (1.4301),
AISI 420 (1.4034), AISI 420D (1.4037),
AISI 430 (1.4016)
密封閥蓋、閥板、饋通件 氟橡膠
安裝位置DN 100 – 350
DN 400 任何位置 水平位置
閥門位置指示 視覺（機械和控制器）
vatvalve高真空控制閘閥半導體專用64240-UEAG
vatvalve高真空控制閘閥半導體專用64240-UEAG
商品編號 64240-UEAG
尺寸： DN 100 (4")
材質： 不銹鋼
驅動器： 步進電機
位置指示信號： 沒有
電磁閥： 沒有
法蘭： CF-F (UNF螺紋)
控制器： SPS
接口： RS232接口/1個感應器
商品編號 64244-CEGG
尺寸： DN 160 (6")
材質： 不銹鋼
驅動器： 步進電機
位置指示信號： 沒有
電磁閥： 沒有
法蘭： CF-F (公制螺紋)
控制器： 基本版本/集群從屬
接口： RS232接口/1個感應器
商品編號 64244-CEHG
尺寸： DN 160 (6")
材質： 不銹鋼
驅動器： 步進電機
位置指示信號： 沒有
電磁閥： 沒有
法蘭： CF-F (公制螺紋)
控制器： PFO
接口： RS232接口/1個感應器
商品編號 64244-JECP
尺寸： DN 160 (6")
材質： 不銹鋼
驅動器： 步進電機
位置指示信號： 沒有
電磁閥： 沒有
法蘭： JIS
控制器： SPS和PFO
接口： 設備網/1個感應器
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