八光產業旋轉導入機構XY平臺ICF70-ICF114

八光產業旋轉導入機構XY平臺ICF70-ICF114

XY工作臺是在X軸（左/右）方向和Y軸（垂直）方向上移動的定位工作臺。

主要特點是：

• 多功能 ICF70 或 ICF114 法蘭尺寸使其易于設計和安裝。

• 可用于超高真空領域。

• 移動距離為±5mm，可實現精確定位。

技術規格～各產品的外形尺寸請另行聯系我們～

法蘭尺寸 （上下）	ICF70-ICF70	ICF70-ICF114	ICF114-ICF114
真空密封方式	波紋管法
泄漏量	1.3 x 10-11Pa?m3 / sec 最大
行駛距離	XY軸±5mm
重量	1.8公斤	2.2公斤	4.3公斤

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