| 產地類別 |
進口 |
價格區間 |
5千-1萬 |
| 儀器種類 |
通用型 |
應用領域 |
醫療衛生,環保,電子,制藥,綜合 |
| 電源輸入 |
AC100V |
質量 |
2.2kg |
HONDA本多電子 石英振動體清洗機
實現低損傷和高清潔度的新一代清潔，具有小型化圖案的晶圓，具有低損傷 ■ 超聲波疊加在石英振動體上，清洗半導體晶圓通過
化學溶液將超聲波振動從石英振動器傳播到半導體晶圓，接觸點處的化學溶液振動，加速度去除表面的污垢。
■ 實現清潔清潔，減少對半導體晶圓的損壞通過使用石英與化學溶液接觸，與使用橡膠材料的設備（如填料）相比，不會出現橡膠的洗脫或磨損。
HONDA本多電子 石英振動體清洗機
實現低損傷和高清潔度的新一代清潔，具有小型化圖案的晶圓，具有低損傷 ■ 超聲波疊加在石英振動體上，清洗半導體晶圓通過
化學溶液將超聲波振動從石英振動器傳播到半導體晶圓，接觸點處的化學溶液振動，加速度去除表面的污垢。
■ 實現清潔清潔，減少對半導體晶圓的損壞通過使用石英與化學溶液接觸，與使用橡膠材料的設備（如填料）相比，不會出現橡膠的洗脫或磨損。
2006年，我們成為一家將石英振動超聲波清洗裝置商業化的公司。在這種方法中，超聲波疊加在石英振動器上以清潔半導體晶圓。
與批量清洗和流水清洗相比，可以減少化學溶液的使用量，并且由于接液部件僅是石英玻璃和橡膠材料（如填料）不與液體接觸，因此可以保持高水平的清潔度。
此外，通過根據用途準備石英振動器的形狀，可以根據需要進行有效的清潔，例如低損傷清潔、大面積清潔以及斜面（端面）和缺口（晶圓端面的切口）的清潔。
HONDA本多電子 石英振動體清洗機
由于配備了換能器冷卻功能，因此通過用氣體（氮氣等）冷卻換能器，可以穩定連續運行，而不會出現頻率波動。此外，通過冷卻，溫度不會突然變化，使用壽命長。
磨邊后的抗蝕劑殘留物去除，灰化后的聚合物去除，CMP后的柵極電極清洗
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