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CKD喜開(kāi)理流量傳感器?控制器

這是一款用于壓縮空氣和氮?dú)獾某⌒土髁總鞲衅鳌?/span>

由于其重量輕和響應(yīng)速度快，因此非常適合檢查電子元件的吸附情況。

工業(yè)：半導(dǎo)體制造工藝（后端工藝）

流量傳感器和控制器

CKD喜開(kāi)理流量傳感器?控制器

用于氣體 Rapi Flow® 的微型流量傳感器

[超小型輕量] （FSM-X系列）通過(guò)分離傳感器頭實(shí)現(xiàn)超小型化
。
與常規(guī)體積相比，它比常規(guī)體積小 52%，而且重量輕，4G 最薄，為 8 毫米。
有兩種類型的產(chǎn)品陣容：?jiǎn)蝹€(gè)傳感器頭和流路塊。

[非線性特性] （FSM-X系列）模擬
輸出是非線性的，因此在低流量范圍內(nèi)的分辨率得到了提高。

[高速響應(yīng)] （FSM-V 和 FSM-X 系列） 5 ms 的高速
響應(yīng)實(shí)現(xiàn)了原本被放棄的設(shè)計(jì)

[雙面測(cè)量] （FSM-V / FSM-X 系列）由于
可以進(jìn)行雙向測(cè)量，因此非常適合吸附確認(rèn)應(yīng)用。

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