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池田屋實業(深圳)有限公司
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產品簡介
| 泵軸位置 | 其他 | 抽氣量 | 見參數 |
|---|---|---|---|
| 抽氣速率 | 見參數l/s | 電壓 | 見參數V |
| 功率 | 見參數kW | 極限壓力 | 見參數pa |
| 流量 | 見參數m3/h | 排出口徑 | 見參數mm |
| 輸送介質 | 其他 | 外形尺寸 | 見參數 |
| 揚程 | 見參數m | 葉輪數目 | 其他 |
| 應用領域 | 食品,化工,能源,建材,綜合 | 重量 | 見參數kg |
| 最大工作壓強 | 見參數 | 訂貨號 | 175.030.770.78 周璇 |
MS系列是螺桿型干式真空泵。
在傳統的LS系列的基礎上，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。
該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設計。
產品介紹
ULVAC愛發科 MS 系列 螺桿型干泵 真空泵
ULVAC愛發科 MS 系列 螺桿型干泵 真空泵
特點
通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。
采用ULVAC設計的轉子軸，實現高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區域連續運行。
用途
半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統，如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。
真空熱處理爐真空排氣系統，如燒結爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設備真空排氣系統，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。
醫療食品設備相關的真空排氣系統，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。
規格
| 型號 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 最大排氣速度 *1 | m3/h | 115 | 560 | 980 |
| 到達壓力 | Pa | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 電源電壓 | 200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10% | |||
| 消費電力概略值 *2 | kW | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷卻水量 | L/min | >4.0 | ||
| Purge gas量 *1 | SLM | 0~50 | ||
| 最大水蒸氣處理量 *1*3 | kg/h | 1.5 | ||
| 噪音值 *1 | dB(A) | 61 | 62 | 64 |
| 吸氣口 | KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排氣口 | KF40 | |||
| 質量 *4 | kg | 139 | 241 | 264 |
| 適用規格 | CE、cTUVus | |||
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