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池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司
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HR1200現(xiàn)貨供應(yīng) ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵
| 參考價(jià): | ￥ 14520 |
| 訂貨量: | 1臺(tái) |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- HR1200 產(chǎn)品型號(hào)
- ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科 品牌
- 經(jīng)銷(xiāo)商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問(wèn)次數(shù)：297更新時(shí)間：2024-05-29 13:44:30
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 泵軸位置 | 其他 | 抽氣量 | 見(jiàn)參數(shù) |
|---|---|---|---|
| 抽氣速率 | 見(jiàn)參數(shù)l/s | 電壓 | 見(jiàn)參數(shù)V |
| 功率 | 見(jiàn)參數(shù)kW | 極限壓力 | 見(jiàn)參數(shù)pa |
| 流量 | 見(jiàn)參數(shù)m3/h | 排出口徑 | 見(jiàn)參數(shù)mm |
| 輸送介質(zhì) | 其他 | 外形尺寸 | 見(jiàn)參數(shù) |
| 揚(yáng)程 | 見(jiàn)參數(shù)m | 葉輪數(shù)目 | 其他 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 食品,化工,能源,建材,綜合 | 重量 | 見(jiàn)參數(shù)kg |
| 最大工作壓強(qiáng) | 見(jiàn)參數(shù) | 訂貨號(hào) | 175.030.770.78 周璇 |
通過(guò)高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。
產(chǎn)品介紹
現(xiàn)貨供應(yīng) ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵
現(xiàn)貨供應(yīng) ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵
特點(diǎn)
高溫區(qū)域均熱化
實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
UR系列可比HR系列更加高溫化。
氦氣密封
通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。
瞬停對(duì)策
采取了1000msec以?xún)?nèi)瞬停對(duì)策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專(zhuān)用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。
用途
CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD、ALH 等
規(guī)格
| 型號(hào) | HR60 | HR90 | HR300 | HR600 | HR1200 | |||||||
| 使用泵 | 干式真空泵 | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | ||||||
| 機(jī)械增壓泵 | - | - | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | |||||||
| 最大 排氣速度 | 50Hz | m3/h (L/min) | 62(1030) | 112(1860) | 359(5,980) | 653(10,900) | 1,012(16,900) | |||||
| 60Hz | m3/h (L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 365(6,080) | 701(11,700) | 1,051(17,500) | ||||||
| 到達(dá)壓力 | Pa | 5 | 0.67 | |||||||||
| 最大排氣壓力 （吸入圧力） | 大氣壓 *1 | |||||||||||
| 最大排氣壓力 （吸入圧力） | Pa | 1~ 大氣壓 | ||||||||||
| 吸氣口 (CE規(guī)格) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG80(KF80) | VG100(KF100) | ||||||||
| 排氣口 | KF40 | |||||||||||
| 質(zhì)量 | kg | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | ||||||
| 電源 | 三相 | VAC (Hz) | 200(50/60), 220(60) | |||||||||
| 電流值 | 穩(wěn)定時(shí) | A | 7.1 (at 200V) | 11.2 (at 200V) | 7.8 (at 200V) | 12.9 (at 200V) | 15.4 (at 200V) | |||||
| 最大值 | A | 7.3 (at 200V) | 11.8 (at 200V) | 8.1 (at 200V) | 13.8 (at 200V) | 18.9 (at 200V) | ||||||
| 冷卻水一次圧力 | MPa | 0.1~0.3 | ||||||||||
| 冷卻水出入口壓差 | MPa | >0.1 | ||||||||||
| 冷卻水流量 | L/min | >5.0 | ||||||||||
| 吹掃氣 | 一次壓力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||||||
| 二次壓力 | MPa | 0.05~0.1 | ||||||||||
| N2吹掃 | 軸 | SLM | 5 | |||||||||
| 氣鎮(zhèn) | SLM | 0~45 | ||||||||||
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