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深圳市京都玉崎電子有限公司
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- www.tamasaki.cn/
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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 環保,石油,能源,電子,電氣 |
|---|---|---|---|
| 訂貨號 | 137**1702**3088王生 |
可連接不同測量范圍的探頭：多離子計允許根據應用選擇探頭。
緊湊：明顯小于傳統產品（控制器體積減少 56%），
提高可用性：可通過 PC/智能手機連接進行設定點設置、狀態確認等
產品陣容豐富：除了模擬輸出規格（ST200-A）和串行通信規格（ST200-R）外，還將增加EtherCAT規格（ST200-E）。
產品介紹
ULVAC愛發科 精品 分析/測量 電離真空計
ULVAC愛發科 精品 分析/測量 電離真空計
用途
用于有機EL、觸摸屏等制造設備的極限壓力確認和工序管理。
用于檢查真空爐等各種工業真空設備的極限壓力。
用于在含有大量碳氫化合物（油基）的大氣中進行測量
用于在真空零件加工過程中殘留有切削油或清洗液的環境中進行測量。
適用于旨在減少更換真空計探頭頻率的真空設備。
*在腐蝕性氣體（鹵素氣體）氣氛中使用時，請與我們聯系。
特征
可連接不同測量范圍的探頭：多離子計允許根據應用選擇探頭。
緊湊：明顯小于傳統產品（控制器體積減少 56%），
提高可用性：可通過 PC/智能手機連接進行設定點設置、狀態確認等
產品陣容豐富：除了模擬輸出規格（ST200-A）和串行通信規格（ST200-R）外，還將增加EtherCAT規格（ST200-E）。
三極管型金屬電離真空計：真空計即使在惡劣環境下也能實現長壽命。
燈絲壽命通知功能：通過監控燈絲功率，可以提前通知燈絲壽命。
壓力測量范圍廣：可測量大氣壓至高真空范圍（1×10 +5～ 1×10 -5 Pa）（連接選購件SWU10-R時）
精確的大氣壓力測量：可以檢查腔室開口的大氣壓力（當連接可選單元 SAU 時）
規格
| 模型 | ST200-A | ST200-R | ST200-E（預定發布） | |
|---|---|---|---|---|
| 規格 | 標準規格 | 串行通訊規格 | EtherCAT規格 | |
| 適應性強的多離子規傳感器 | SWT-16(NW16), SWT-25(NW25) | |||
| 可連接的傳感器 | 多離子壓力傳感器：1 件 皮拉尼壓力計 SWU10-R：1 件（可選） 大氣壓力傳感器 SAU：1 件（可選） | |||
| 重復性（N 2） | ST200單模：±2% | |||
| 采樣時間 | 60ms 5次移動平均處理 | |||
| 測量值輸出 | 輸出電壓 DC 0 至 10V LOG 輸出 0.75V/1 位 壓力轉換公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2} | |||
| 更新時間 | 60毫秒 | |||
| 控制輸入信號 | FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 采用集電極開路輸入、負邏輯操作 | - | - | |
| 控制輸出信號 | 傳感器錯誤、設定值 1/2/3、發射有效、 燈絲功率監控 額定值：最大24V 、最大50mA 、飽和電壓 1V | - | - | |
| 串行通訊規格 | - | RS232C/RS-485 | EtherCAT | |
| LED表示 | POWER/ERROR：電源、錯誤 LED（閃爍狀態根據每種模式而變化） | |||
| 發射電流 | 2mA（1×10 -2 Pa以下）、10μA（1×10 -2 Pa以上） | |||
| 脫氣 | 電子轟擊法，發射電流2mA，柵極電壓約330V | |||
| 傳感器耐壓 | 2×10 + 5Pa（絕對壓力） * 必須單獨考慮法蘭、卡箍等的耐壓性能。 | |||
| 傳感器內容積 | 17厘米3（SWT-16）、19厘米3（SWT-25） | |||
| 工作溫度限制 | 10～50℃ | |||
| 工作濕度范圍 | 15 至 80%（無冷凝） | |||
| 保管溫度 | -20～65℃（不通電時不結露） | |||
| IP保護等級 | IP30 | |||
| 電源電壓 | DC20~28V（紋波、噪聲1%以下） 8W以下 | |||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub15針（M2.6螺絲） | |||
| 質量 | 控制器：約 280g 測頭（SWT-16、SWT-25）：80g | |||
| 外形尺寸 寬×深×高 | 69mm×63mm×90mm（控制器部分） | |||
| 兼容標準 | 這 | |||
| 選項 | 多離子計傳感器 | SWT-16 (NW16)、SWT-25 (NW25) 材質： 燈絲：Ir/Y 2 O 3涂層 其他：PtC-Mo、SUS304、W、Kovar 玻璃、Kovar/Ni 鍍層 | ||
| 皮拉尼壓力計 | SWU10-R *也兼容傳統SPU | |||
| 皮拉尼壓力傳感器 | SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(Φ18管端)、SWP-P15(Φ15管端)、SWP-CF16(ICF034) 材質：燈絲 - Pt、其他 - BS/Ni、電鍍、Ni、焊料 | |||
| 大氣壓力傳感器 | SAU(NW16) 材質：SUS316L | |||
| 單元電纜 | GUC-200P（SWU用）：0.5m, 1m, 2m GUC-200A（SAU用）：0.5m, 1m, 2m | |||
| 顯示單元 | 1CH：ISG1 (DC24V電源使用) | |||
| 顯示單元電纜 | SH200至顯示單元電纜 2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m | |||
| 連接器 | 輸入/輸出連接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺絲）） | |||
| 其他的 | 檢驗報告、一般校準測試報告、JCSS校準證書 | |||
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