天津瑞利光電科技有限公司優勢經銷WOP激光微加工一體化研發平臺FemtoLAB

產品型號：FemtoLAB

產品介紹：FemtoLAB 是一款飛秒激光微加工工作站。需要為各種任務定制解決方案的科學實驗室和研發部的好選擇。FemtoLAB 激光工作站提供亞微米分辨率的組合激光微加工工藝，可執行多種應用。

性能特點：

制造具有亞微米分辨率的復雜物體

高速高精度微加工

光束傳輸和功率控制效率高

工業級飛秒激光器

高性能檢流計掃描儀

物體運動與激光脈沖時空同步

軟件界面控制所有硬件單元

參數：

產地：立陶宛

推薦材料：所有材料：玻璃、藍寶石、硅、陶瓷、金屬、塑料、光纖等。

激光：高功率超短脈沖紅外、綠光、紫外激光

樣本量：兼容max 160 mm x 160 mm 的設計

min特征尺寸：200納米

定位系統：XYZ 機械軸，定位精度 +- 0.3 μm，具有連續晶圓級圖案化

掃描系統：適用于所有激光波長的振鏡系統

樣品處理：手動與自動對齊

尺寸（長 x 寬 x 高）：1500 × 1350 × 1400mm

重量：1100kg

電源：2x 220 VAC, 16 A

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