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池田屋實業（深圳）有限公司
中級會員·2年您現在的位置： 池田屋實業（深圳）有限公司>>UNITEMP/尤尼坦>> VPO1000-300淘淘西直銷！日本UNITEMP/尤尼坦頂裝式 真空工藝快速加熱爐VPO-1000-300
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- www.ikedaya.cn/
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產品簡介
| 應用領域 | 環保,生物產業,能源,電子,綜合 |
|---|
頂裝式真空工藝快速加熱爐
兼容Φ300mm（12英寸）晶圓
最高溫度達到1000℃
最大加熱速率 40K/秒。
設備尺寸：505 x 505 x 830 毫米（寬x深x高）
設備重量：約105公斤
產品介紹
淘淘西直銷！日本UNITEMP/尤尼坦頂裝式 真空工藝快速加熱爐VPO-1000-300淘淘西直銷！日本UNITEMP/尤尼坦頂裝式 真空工藝快速加熱爐VPO-1000-300
觸摸屏型Φ12英寸兼容真空/工藝氣體
高速退火加熱系統VPO-1000-300
VPO-1000-300工藝氣體高速退火爐
VPO-1000-300
工藝氣體快速退火爐
設備尺寸：505 x 505 x 570毫米（寬x深x高）
設備重量：約105公斤
除了原型開發應用之外，它還可以集成到與 N2、H2 和甲酸兼容的在線系統中。與真空回流退火工藝和 LTO 燒結兼容！
加熱區上下設有IR（紅外線）型加熱器，最高溫度可達1000℃，并可高速升溫40K/秒。采用氮氣吹掃方式的冷卻方式，降溫速度高達190K/min。
觸摸屏用于輪廓程序控制。
除了創建溫度控制、氣體流量 (MFC)、真空控制等配置文件程序外，您還可以保存過程數據。
它可以加熱最大300x300mm或Φ300mm的物體。
真空工藝快速加熱爐，盡管其桌面尺寸，最高溫度可達1000℃。
兼容氮氣吹掃、氧氣吹掃、合成氣（氫氣+氮氣）吹掃等。
由于工作區域是氣體保護的，因此可用于存在污染問題的工藝或其他關鍵工藝。
加熱由頂部和底部的 48 個 IR（紅外線）加熱器進行，可實現準確、快速的加熱。
與適當的真空泵組合，可實現高達0.1Pa（10-3hPa）的真空環境。
兼容氮氣吹掃法的溫度下降
標準配備觸摸屏顯示器。通過觸摸操作輕松操作
主機上最多可注冊50個50段（行）的溫度控制程序。
可與上下料機、機器人等組合集成到生產線中。
最高溫度達到1000℃
標準配備設備外殼冷卻裝置。在確保安全的同時，最高溫度可達1000℃。因此，它不僅可以輕松應對 SiAu、SiAl 和 SiMo 等退火工藝，還可以輕松應對糊料材料等燒結工藝。
兼容高速加熱/冷卻
配備高速紅外線（IR）加熱器，最高可升溫至每分鐘2400℃以上（每秒40℃以上）。當然，也可以以輪廓程序的任何速率升高溫度。另外，在降溫過程中，通過向腔室中供應冷卻氮氣，可以安全地進行冷卻，而不會損壞處理后的器件表面。
兼容各種氣體吹掃環境
最多可以安裝4個MFC（質量流量控制器）系統，因此除了真空或大氣環境之外，還可以在任何工藝氣體吹掃環境中進行退火。不僅可以在配置文件程序中注冊各種氣體系統的開/關控制，還可以注冊其流量，從而可以輕松再現各種環境。
簡單的溫度曲線設置
標配7英寸觸摸屏。任何控制配置文件程序都可以在觸摸面板上創建和保存，無需單獨的外部 PC。最多可注冊并執行 50 個 50 個步驟的溫度控制程序。此外，標準配置還包括將實驗數據保存到 USB 存儲器的功能。通過 USB 存儲器也可以輕松地將實驗數據移動到任何 PC。
垂直室開/關
腔體可通過兩側操作按鈕手動開啟和關閉，也可通過外部信號自動開啟和關閉，因此可串聯安裝。
