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應用領域 | 石油,建材,電子,制藥,綜合 | 序列號 | 176.0755.4908. |
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螺桿型干式真空泵。在傳統LS系列的基礎上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計
新款ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵節電配件
新款ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵節電配件
特點
通過對轉子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理,進行腐蝕。
采用ULVAC 設計的底座軸,實現高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區域連續運行。
目的
半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統,如刻蝕設備、去膠設備、離子清洗設備等。
真空熱處理爐真空排氣系統,如燒結爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設備真空排氣系統,如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。
醫療食品設備相關的真空排氣系統,如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。
螺桿型干式真空泵。在傳統LS系列的基礎上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計
當使用干泵時可選配,用于降低排氣噪音。
特點
大氣壓附近的排氣速度高,可以縮短排氣時間。
ECO-SHOCK技術實現低功耗(C型號)
極限壓力下的功耗為0.6 kW或更低(LS120A-C)
配有專用的消音器
極限壓力下的噪音水平為61 dB(A)或更低
無需先前所需要的軸封氣體
※L型可以使用稀釋氣體。
排氣速度120-1200 m3 / h級 ※可與機械增壓泵結合使用
可以根據應用選擇最佳排氣能力的型號
得點
出色的消音效果
可以通過卡箍連接到泵的排氣口
規格
型式 | ES10 | ES4A | |||
電源 | 規格 | 單相 AC100~220V 50/60Hz | 單相 AC200~220V±5% 50/60Hz | ||
最大功耗 | 65W *1 | 400W | |||
控制 | 輸入 | 遠程啟動/停止(接點 DC24V有電圧) 接點容量2.0A以上請準備無電源接點 *2 | |||
輸出 | 過電流報警輸出(接點 無電圧) 接點容量:DC24V 1.0A | 啟動確認、省電確認、本體警報、過電流警報 | |||
顯示 | 運作時間顯示 | 運作時間、啟動確認、省電確認、本體警報、過電流警報 | |||
外觀尺寸 | 本體單元 | 175mm×310mm×240mm | 250mmx475mmx373mm | ||
閥單元 | Φ66mm×110mm(NW40) *3 | 選項 | |||
質量 | 本體單元:8.3kg 閥單元:800g | 32kg | |||
質量 | G1/4" (INLET、OUTLET) 已安裝連接器 | Φ16mm管接頭( 推薦管的長度為1.5m以內) |
*1 干泵的使用工藝氣體、吹掃氣體 0Pam3/s*2 手動啟動/停止時可以通過跳轉控制連接器的PIN,來ON/OFF電路保護器。*3 ES10標配一個閥單元
效果例
ES4A
弊社泵型號 | LR1800 | LR3601-R | ||
排氣速度*1 | 羅茨泵 | 1784m3/hr(29700L/min) | 3200m3/hr(53333L/min) | |
干泵 | 237m3/hr(3950L/min) | 440m3/hr(7333L/min) | ||
平均功耗*2,3 | 極限壓力運作時 | 沒有 | 6.0kW | 7.8kW |
ES4A安裝時 | 2.7kW | 3.2kW | ||
消減率 | 55% | 59% | ||
反復排氣時 *4 | 沒有 | 7.2kW | 9.6kW | |
ES4A安裝時 | 5.7kW | 6.3kW | ||
消減率 | 21% | 34% |
*1 電源頻率60Hz
*2 密封氣體5SLM
*3 包含ECO-SHOCK ES4A功耗
*4 300L腔室反復排氣60秒節拍的測量示例。
ES10
型號名稱 | LR60 | LR90 | LR180 |
排氣速度*1 | 1300L/min | 2100L/min | 3980L/min |
實測功耗*2 | 2.1kW | 3.6kW | 6.6kW |
ECO-SHOCK安裝后的實測功耗*2 *3 *4 | 0.7kW | 1.0kW | 1.6kW |
電力消減率 | 67% | 72% | 76% |
*1 電源頻率60Hz
*2 功耗為極限壓力時的代表值
*3 包括ECO-SHOCK的功耗
*4 密封氣體、吹掃氣體流量0Pa?m3/s時。取決于密封氣體、吹掃氣體流量
尺寸圖
閥門單元 尺寸圖
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