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池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司

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UXR300BF-全新USHIO牛尾 UXR-300BF 緊湊型氙氣燈
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地:日本

貨物所在地:廣東深圳市

更新時(shí)間:2024/9/8 20:17:15

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MATSUO松尾電器

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詳細(xì)介紹

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[元件技術(shù)]

配備全球占有率第一的超高壓UV燈

具有高均勻性的 照射光學(xué)系統(tǒng)

的大面積投影鏡頭

響應(yīng)基板特定畸變的對(duì)準(zhǔn)技術(shù)

的TTL非曝光波長(zhǎng)/對(duì)準(zhǔn)方法

Ushio的技術(shù)“TTL非曝光波長(zhǎng)對(duì)準(zhǔn)"在觀察掩模標(biāo)記時(shí)無需暴露基板上的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。此外,由于可以直接觀察工件標(biāo)記,因此不會(huì)因掩模而降低對(duì)比度,并且可以與清晰的標(biāo)記進(jìn)行高精度對(duì)準(zhǔn)。

兼容多種對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記

由于支持對(duì)已登記圖案的圖案匹配,因此無需專用對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記,即可與各種布線圖案進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)。

高分辨率能力

配備Ushio投影鏡頭“UPL系列"以實(shí)現(xiàn)高分辨率。支持全面量產(chǎn),設(shè)計(jì)規(guī)則線距=5μm。

深景深

由于焦點(diǎn)深度較深(±50 至 100 μm),因此即使由于基板的臺(tái)階、翹曲或波紋而導(dǎo)致焦點(diǎn)偏離,也可以獲得與正確對(duì)焦時(shí)相同的圖案輪廓。當(dāng)曝光較厚的干膜、阻焊劑等時(shí)尤其有效。

使用表面平臺(tái)進(jìn)行高速步進(jìn)和重復(fù)

通過使用精密空氣軸承消除摩擦,并通過平面電機(jī)結(jié)構(gòu)使運(yùn)動(dòng)部件更輕、更堅(jiān)固,實(shí)現(xiàn)了高速步進(jìn)重復(fù)操作。此外,表面平臺(tái)使用激光干涉儀進(jìn)行反饋控制,實(shí)現(xiàn)高速運(yùn)行和高定位精度。

面罩無損傷

UXR-300BF主要規(guī)格
基本特性(初始電氣特性)燈輸入300W
額定燈電壓*115V
額定燈電流20A
電流范圍18~21A
規(guī)格極間距離1.5毫米
波長(zhǎng)類型無臭氧
出射窗直徑φ25.4
鏡子形狀拋物面
額定壽命*3500小時(shí)
初始照射強(qiáng)度*2總輻射功率50W
總光通量4500流明
5mm孔徑通光通量1830流明
色溫6100K
使用條件(電源)電源類型恒流控制/恒功率控制
允許紋波電流(PP)5%或更少
點(diǎn)火器輸出AC23kV以上
可用電壓140V以上
使用條件(燈)照明方向水平照明
冷卻條件陶瓷型材150℃以下
金屬部分200℃以下
強(qiáng)制風(fēng)冷需要



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