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UX 4486SC-池田屋現貨USHIO牛尾 UX-4486SC 投影曝光裝置
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地:日本

貨物所在地:廣東深圳市

更新時間:2024/9/8 20:20:44

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供應簡介
池田屋現貨USHIO牛尾 UX-4486SC 投影曝光裝置
USHIO 一直提供專門用于服務器、個人電腦、智能手機和平板電腦等移動設備中使用的 封裝應用的步進機。這是一款封裝基板用步進機,采用了Ushio多年來積累的光源和光學技術以及我們 的大面積投影透鏡技術,并使用了與面板尺寸相對應的平臺。它實現了高生產率,同時實現了封


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池田屋現貨USHIO牛尾 UX-4486SC 投影曝光裝置

池田屋現貨USHIO牛尾 UX-4486SC 投影曝光裝置

USHIO 一直提供專門用于服務器、個人電腦、智能手機和平板電腦等移動設備中使用的封裝應用的步進機。這是一款封裝基板用步進機,采用了Ushio多年來積累的光源和光學技術以及我們 的大面積投影透鏡技術,并使用了與面板尺寸相對應的平臺。它實現了高生產率,同時實現了封裝基板所需的高分辨率和覆蓋精度。

[元件技術]

配備全球占有率第一的超高壓UV燈

具有高均勻性的 照射光學系統

的大面積投影鏡頭

響應基板特定畸變的對準技術

的TTL非曝光波長/對準方法

Ushio的技術“TTL非曝光波長對準"在觀察掩模標記時無需暴露基板上的對準標記。此外,由于可以直接觀察工件標記,因此不會因掩模而降低對比度,并且可以與清晰的標記進行高精度對準。

兼容多種對準標記

由于支持對已登記圖案的圖案匹配,因此無需專用對準標記,即可與各種布線圖案進行對準。

高分辨率能力

配備Ushio投影鏡頭“UPL系列"以實現高分辨率。支持全面量產,設計規則線距=5μm。

深景深

由于焦點深度較深(±50 至 100 μm),因此即使由于基板的臺階、翹曲或波紋而導致焦點偏離,也可以獲得與正確對焦時相同的圖案輪廓。當曝光較厚的干膜、阻焊劑等時尤其有效。

使用表面平臺進行高速步進和重復

通過使用精密空氣軸承消除摩擦,并通過平面電機結構使運動部件更輕、更堅固,實現了高速步進重復操作。此外,表面平臺使用激光干涉儀進行反饋控制,實現高速運行和高定位精度。

面罩無損傷

UX-4系列陣容

模型UX-4486SCUX-44101SCUX-4423SCUX-4459SCUX-4440SCUX-4438SCUX-4458SCUX-4477SC
面罩尺寸□5英寸□7英寸、□5英寸□9英寸、□7英寸
晶圓尺寸φ4英寸φ6英寸、φ4英寸φ8英寸、φ6英寸
解決7μm長/秒2μm長/秒9μm長/秒6μm長/秒5μm長/秒12μm長/秒6μm長/秒4μm長/秒
總體疊加精度±1.0μm L/S±1.0μm L/S±1.0μm L/S±1.0μm L/S±2.0μm L/S±1.0μ;m L/S±1.0μm L/S±1.0μm L/S
曝光波長洲際線我行洲際線我行我行洲際線我行我行
吞吐量120W/小時
選項背面對準、IR對準、掩模庫、特殊晶圓支撐



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