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日本東麗半導體用氧含量分析儀介紹：
血YANG定量計半導體、LCD 和電子元件相關應用用于半導體、電子元件的氧分析儀
MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860
血YANG儀 MS-500
最多可同時測量 8 個點
可以顯示從ppm級到100%的各種濃度。
非常適合安裝在半導體制造設備、真空設備等中。
傳感器直接插入（NW 法蘭 16/25/40 用于真空）
堅固耐用的傳感器，帶有特殊涂層，更耐用
日本東麗半導體用氧含量分析儀MS-500 規格：
| 測量原理 | 氧化鋯陰影電池供電 | ||
|---|---|---|---|
| 形狀 | 分體式（換能器：壁掛式、傳感器：直插式） | ||
| 顯示方式 | 數字 4 位顯示（密度顯示） | ||
| 測量范圍 | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0自動柜員機 自動量程 | ||
| 重復性 | ± 0.5%FS以下 0-1%范圍或更高 ±1%FS或小于0.1ppm ± 小于 0-1% 范圍 0-1ppm，ATM范圍超出濃度保證范圍 | ||
| 測量點數 | 1~8 | ||
| 樣氣條件 | 壓力 | 10-3~200KPa（絕對壓力） | |
| 流量 | 0.5~5,000mL/min或0mL/min（自發擴散狀態的測量） | ||
| 濕度 | 露點低于環境溫度 | ||
| 溫度 | 0~100°攝氏度 | ||
| 其他 | 不含腐蝕性氣體（氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等）、含有機硅的氣體、易燃成分（包括氣體）、油或水。 | ||
| 比較氣體 | 大氣層 | ||
| 錄音機輸出 | 僅傳輸輸出 | ||
| 傳輸功率 | RS-232C接口 | ||
| 報警輸出 | 沒有 | ||
| 預熱時間 | 6分鐘內 | ||
| 大小 | MS-500 （控制器） | 92 （W） × 44 （H） × 120 （D） （不包括突起部分） | |
| MS-510 （轉換器） | 100 （W） × 40 （H） × 88 （D） （不包括突起部分） | ||
| 傳感器單元 | SD16NW系列 | 全長：100mm（感應部分Φ11×39、機身部分Φ40×51） | |
| SD25NW系列 | 全長：100mm（感應部分Φ11×42、機身部分Φ40×48） | ||
| SD40NW系列 | 全長：100mm（感應部分Φ11×41，機身部分Φ40×49） | ||
| 質量 | MS-500 （控制器） | 約0.6Kg | |
| MS-510 （變壓器） | 約0.5kg | ||
| 傳感器單元 | SD16NW系列 | 約0.2Kg | |
| SD25NW系列 | 約0.2Kg | ||
| SD40NW系列 | 約0.35Kg | ||
| 外部連接 | 任何真空法蘭（NW16、25、40） | ||
| 使用的電源 | 24VDC±10% | ||
血YANG儀 LC-450A、LC-450D
可以顯示
從寬濃度范圍內測量的ppm水平到100%的廣泛濃度范圍。
提高傳感器耐久性氧
傳感器經過特殊處理，可提高耐久性。
交流寬電源 AC100~240VAC （LC-450A）
*LC-450D 是 DC24V 驅動
結構緊湊，易于安裝，
深度甚至比我們的傳統型號更短，而且不占用太多空間。
符合RoHS指令的產品
CE標志自我聲明的物品
EN61010-1：2002，EN61326：+A3：2003
LC-450A 規格：
| 測量原理 | 氧化鋯陰影電池供電 | ||
|---|---|---|---|
| 形狀 | 桌面/面板安裝 | ||
| 顯示方式 | 數字 4 位顯示（密度顯示） | ||
| 測量范圍 | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0自動柜員機自動量程 | ||
| 重復性 | ±在1%FS0-1ppm以內，大氣壓范圍超出濃度保證范圍 | ||
| 取樣方式 | 內置泵連續抽吸 | ||
| 樣氣條件 | 壓力 | 加壓小于30KPa | |
| 流量 | 1,000~2,000毫升/分鐘 | ||
| 濕度 | 露點低于環境溫度 | ||
| 溫度 | 0~50°攝氏度 | ||
| 其他 | 不含腐蝕性氣體（氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等）、含有機硅的氣體、易燃成分（包括氣體）、油或水。 | ||
| 比較氣體 | 大氣層 | ||
| 錄音機 輸出 | 氧氣濃度輸出 | 4-20 mA 或 0-20 mA 開關（可選 0-10 V） 隔離、負載電阻 550 Ω以下 記錄儀輸出范圍為滿量程，輸出與氧氣濃度成線性關系 | |
| 輸出范圍 | 0-100%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm 自動/固定范圍 | ||
| 傳輸功率 | RS-232C接口 | ||
| 報警輸出 | FAIL（設備錯誤） | 1 分 | 無電壓觸點，觸點容量30VDC/AC以下，0.5A以下 因 設備異常導致觸點閉合（觸點操作可更改） |
| ALM（濃度報警） | 2 分 （H/L） | 無電壓觸點，觸點容量30VDC/AC以下，0.5A以下 發生報警時 觸點閉合（觸點操作可更改） | |
| RDY（預熱信號） | 1 分 | 無電壓觸點，觸點容量30VDC/AC以下，0.5A以下
| |
| MRK（范圍標記）輸出 | 2 積分 | 無電壓觸點，觸點容量30VDC/AC以下，0.5A以下 | |
| 預熱時間 | 5分鐘內 | ||
| 大小 | 物質 | 210 （W） × 134 （H） × 300 （D） mm （不含突起部分） | |
| 質量 | 約6kg | ||
| 氣體 連接端口 | 入口 | RC1/4型 | |
| 旁路輸出 | RC1/4型 | ||
| 出口 | RC1/4型 | ||
| 使用的電源 | 100~240VAC， 50VA （穩態： 35VA） 50Hz/60Hz | ||
| 測量原理 | 氧化鋯陰影電池供電 | ||
|---|---|---|---|
| 形狀 | 桌面/面板安裝 | ||
| 顯示方式 | 數字 4 位顯示（密度顯示） | ||
| 測量范圍 | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0自動柜員機自動量程 | ||
| 重復性 | ±在1%FS0-1ppm以內，大氣壓范圍超出濃度保證范圍 | ||
| 取樣方式 | 內置泵連續抽吸 | ||
| 樣氣條件 | 壓力 | 加壓小于30KPa | |
| 流量 | 1,000~2,000毫升/分鐘 | ||
| 濕度 | 露點低于環境溫度 | ||
| 溫度 | 0~50°攝氏度 | ||
| 其他 | 不含腐蝕性氣體（氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等）、含有機硅的氣體、易燃成分（包括氣體）、油或水。 | ||
| 比較氣體 | 大氣層 | ||
| 錄音機 輸出 | 氧氣濃度輸出 | 0-10VDC，隔離，負載電阻600kΩ以上 （可選：4-20mADC，隔離，負載電阻550 Ω以下） 記錄儀輸出范圍為滿量程，輸出與氧氣濃度成線性關系 | |
| 輸出范圍 | 0-100%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm 自動/固定范圍 | ||
| 傳輸功率 | RS-232C接口 | ||
| 報警輸出 | FAIL（設備錯誤） | 1 分 | 無電壓觸點，觸點容量30VDC/AC以下，0.5A以下 因 設備異常導致觸點閉合（觸點操作可更改） |
| ALM（濃度報警） | 2 分 （L/LL） | 無電壓觸點，觸點容量30VDC/AC以下，0.5A以下 發生報警時 觸點閉合（觸點操作可更改） | |
| RDY（預熱信號） | 1 分 | 無電壓觸點，觸點容量30VDC/AC以下，0.5A以下 預熱操作時 觸點閉合（觸點操作可更改）
| |
| MRK（范圍標記）輸出 | 2 積分 | 無電壓觸點，觸點容量30VDC/AC以下，0.5A以下 | |
| 預熱時間 | 5分鐘內 | ||
| 大小 | 物質 | 240 （W） × 134 （H） × 210 （D） mm （不含突起部分） | |
| 質量 | 約5kg | ||
| 氣體 連接端口 | 入口 | RC1/8型 | |
| 旁路輸出 | RC1/8型 | ||
| 出口 | RC1/8型 | ||
| 使用的電源 | 24VDC±10%， 1.25A （30VA， 穩態） | ||
血YANG儀LC-860
低濃度測量：能夠
測量從ppb級到100%
易于操作：使用單獨的按鍵即可輕松操作
吹掃功能比較
氣體進一步穩定，可以進行更精確的測量（僅適用于具有吹掃功能的規格）
高可靠性傳感器：
傳感器內部也可進行防劣化處理（可選）
LC-860 規格：
| 測量原理 | 氧化鋯陰影電池供電 | ||
|---|---|---|---|
| 形狀 | 桌面/面板安裝 | ||
| 顯示方式 | 數字 6 位顯示（密度顯示） | ||
| 測量范圍 | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0ATM 自動/固定范圍 | ||
| 重復性 | ± 氧氣濃度小于 1 ppm和0-1 ppm，大氣壓范圍在1%FS以內均超出濃度保證范圍。 | ||
| 取樣方式 | 內置泵連續抽吸 | ||
| 樣氣條件 | 壓力 | 加壓小于30KPa | |
| 流量 | ~1,500毫升/分鐘 | ||
| 濕度 | 露點低于環境溫度 | ||
| 溫度 | 0~50°攝氏度 | ||
| 其他 | 不含腐蝕性氣體（氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等）、含有機硅的氣體、易燃成分（包括氣體）、油或水。 | ||
| 比較氣體 | 大氣層 | ||
| 錄音機 輸出 | 氧氣濃度輸出 | 4-20mA/0-10V 4-20mA：隔離、負載電阻 600 Ω以下 0-10V：絕緣，負載電阻 500 Ω以上 記錄儀輸出范圍為滿量程，輸出與氧氣濃度呈線性關系 | |
| 輸出范圍 | 0-100%、0-10%、0-1%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm、0-1ppm、10-20-10-0 或可選 4 個量程自動/固定量程 | ||
| 傳輸功率 | RS-232C接口 | ||
| 報警輸出 | FAIL（設備錯誤） | 1 分 | 無電壓觸點，觸點容量24VDC/AC以下，0.1A以下 因 設備異常導致觸點閉合（觸點操作可更改） |
| ALM（濃度報警） | 2 積分 | 無電壓觸點，觸點容量24VDC/AC以下，0.1A以下 發生報警時 觸點閉合（觸點操作可更改） | |
| RDY（預熱信號） | 1 分 | 無電壓觸點，觸點容量24VDC/AC以下，0.5A以下 預熱操作時 觸點閉合（觸點操作可更改）
| |
| MRK（范圍標記）輸出 | 3分 | 無電壓觸點，觸點容量24VDC/AC以下，0.1A以下 | |
| 預熱時間 | 20分鐘內 | ||
| 大小 | 物質 | 288 （W） × 144 （H） × 400 （D） mm （不包括突起部分） | |
| 質量 | 約10kg | ||
| 氣體 連接端口 | 入口 | RC1/8型 | |
| 旁路輸出 | RC1/8型 | ||
| 出口 | RC1/4型 | ||
| 使用的電源 | 100~120VAC±10% 200VA 50Hz/60Hz | ||
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