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MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860
最多可同時測量 8 個點
可以顯示從ppm級到100%的各種濃度。
非常適合安裝在半導體制造設備、真空設備等中。
傳感器直接插入(NW 法蘭 16/25/40 用于真空)
堅固耐用的傳感器,帶有特殊涂層,更耐用
測量原理 | 氧化鋯陰影電池供電 | ||
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形狀 | 分體式(換能器:壁掛式、傳感器:直插式) | ||
顯示方式 | 數字 4 位顯示(密度顯示) | ||
測量范圍 | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0自動柜員機 自動量程 | ||
重復性 | ± 0.5%FS以下 0-1%范圍或更高 ±1%FS或小于0.1ppm ± 小于 0-1% 范圍 0-1ppm,ATM范圍超出濃度保證范圍 | ||
測量點數 | 1~8 | ||
樣氣條件 | 壓力 | 10-3~200KPa(絕對壓力) | |
流量 | 0.5~5,000mL/min或0mL/min(自發擴散狀態的測量) | ||
濕度 | 露點低于環境溫度 | ||
溫度 | 0~100°攝氏度 | ||
其他 | 不含腐蝕性氣體(氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等)、含有機硅的氣體、易燃成分(包括氣體)、油或水。 | ||
比較氣體 | 大氣層 | ||
錄音機輸出 | 僅傳輸輸出 | ||
傳輸功率 | RS-232C接口 | ||
報警輸出 | 沒有 | ||
預熱時間 | 6分鐘內 | ||
大小 | MS-500 (控制器) | 92 (W) × 44 (H) × 120 (D) (不包括突起部分) | |
MS-510 (轉換器) | 100 (W) × 40 (H) × 88 (D) (不包括突起部分) | ||
傳感器單元 | SD16NW系列 | 全長:100mm(感應部分Φ11×39、機身部分Φ40×51) | |
SD25NW系列 | 全長:100mm(感應部分Φ11×42、機身部分Φ40×48) | ||
SD40NW系列 | 全長:100mm(感應部分Φ11×41,機身部分Φ40×49) | ||
質量 | MS-500 (控制器) | 約0.6Kg | |
MS-510 (變壓器) | 約0.5kg | ||
傳感器單元 | SD16NW系列 | 約0.2Kg | |
SD25NW系列 | 約0.2Kg | ||
SD40NW系列 | 約0.35Kg | ||
外部連接 | 任何真空法蘭(NW16、25、40) | ||
使用的電源 | 24VDC±10% |
可以顯示
從寬濃度范圍內測量的ppm水平到100%的廣泛濃度范圍。
提高傳感器耐久性氧
傳感器經過特殊處理,可提高耐久性。
交流寬電源 AC100~240VAC (LC-450A)
*LC-450D 是 DC24V 驅動
結構緊湊,易于安裝,
深度甚至比我們的傳統型號更短,而且不占用太多空間。
符合RoHS指令的產品
CE標志自我聲明的物品
EN61010-1:2002,EN61326:+A3:2003
測量原理 | 氧化鋯陰影電池供電 | ||
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形狀 | 桌面/面板安裝 | ||
顯示方式 | 數字 4 位顯示(密度顯示) | ||
測量范圍 | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0自動柜員機自動量程 | ||
重復性 | ±在1%FS0-1ppm以內,大氣壓范圍超出濃度保證范圍 | ||
取樣方式 | 內置泵連續抽吸 | ||
樣氣條件 | 壓力 | 加壓小于30KPa | |
流量 | 1,000~2,000毫升/分鐘 | ||
濕度 | 露點低于環境溫度 | ||
溫度 | 0~50°攝氏度 | ||
其他 | 不含腐蝕性氣體(氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等)、含有機硅的氣體、易燃成分(包括氣體)、油或水。 | ||
比較氣體 | 大氣層 | ||
錄音機 輸出 | 氧氣濃度輸出 | 4-20 mA 或 0-20 mA 開關(可選 0-10 V) 隔離、負載電阻 550 Ω以下 記錄儀輸出范圍為滿量程,輸出與氧氣濃度成線性關系 | |
輸出范圍 | 0-100%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm 自動/固定范圍 | ||
傳輸功率 | RS-232C接口 | ||
報警輸出 | FAIL(設備錯誤) | 1 分 | 無電壓觸點,觸點容量30VDC/AC以下,0.5A以下 因 設備異常導致觸點閉合(觸點操作可更改) |
ALM(濃度報警) | 2 分 (H/L) | 無電壓觸點,觸點容量30VDC/AC以下,0.5A以下 發生報警時 觸點閉合(觸點操作可更改) | |
RDY(預熱信號) | 1 分 | 無電壓觸點,觸點容量30VDC/AC以下,0.5A以下
| |
MRK(范圍標記)輸出 | 2 積分 | 無電壓觸點,觸點容量30VDC/AC以下,0.5A以下 | |
預熱時間 | 5分鐘內 | ||
大小 | 物質 | 210 (W) × 134 (H) × 300 (D) mm (不含突起部分) | |
質量 | 約6kg | ||
氣體 連接端口 | 入口 | RC1/4型 | |
旁路輸出 | RC1/4型 | ||
出口 | RC1/4型 | ||
使用的電源 | 100~240VAC, 50VA (穩態: 35VA) 50Hz/60Hz |
測量原理 | 氧化鋯陰影電池供電 | ||
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形狀 | 桌面/面板安裝 | ||
顯示方式 | 數字 4 位顯示(密度顯示) | ||
測量范圍 | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0自動柜員機自動量程 | ||
重復性 | ±在1%FS0-1ppm以內,大氣壓范圍超出濃度保證范圍 | ||
取樣方式 | 內置泵連續抽吸 | ||
樣氣條件 | 壓力 | 加壓小于30KPa | |
流量 | 1,000~2,000毫升/分鐘 | ||
濕度 | 露點低于環境溫度 | ||
溫度 | 0~50°攝氏度 | ||
其他 | 不含腐蝕性氣體(氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等)、含有機硅的氣體、易燃成分(包括氣體)、油或水。 | ||
比較氣體 | 大氣層 | ||
錄音機 輸出 | 氧氣濃度輸出 | 0-10VDC,隔離,負載電阻600kΩ以上 (可選:4-20mADC,隔離,負載電阻550 Ω以下) 記錄儀輸出范圍為滿量程,輸出與氧氣濃度成線性關系 | |
輸出范圍 | 0-100%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm 自動/固定范圍 | ||
傳輸功率 | RS-232C接口 | ||
報警輸出 | FAIL(設備錯誤) | 1 分 | 無電壓觸點,觸點容量30VDC/AC以下,0.5A以下 因 設備異常導致觸點閉合(觸點操作可更改) |
ALM(濃度報警) | 2 分 (L/LL) | 無電壓觸點,觸點容量30VDC/AC以下,0.5A以下 發生報警時 觸點閉合(觸點操作可更改) | |
RDY(預熱信號) | 1 分 | 無電壓觸點,觸點容量30VDC/AC以下,0.5A以下 預熱操作時 觸點閉合(觸點操作可更改)
| |
MRK(范圍標記)輸出 | 2 積分 | 無電壓觸點,觸點容量30VDC/AC以下,0.5A以下 | |
預熱時間 | 5分鐘內 | ||
大小 | 物質 | 240 (W) × 134 (H) × 210 (D) mm (不含突起部分) | |
質量 | 約5kg | ||
氣體 連接端口 | 入口 | RC1/8型 | |
旁路輸出 | RC1/8型 | ||
出口 | RC1/8型 | ||
使用的電源 | 24VDC±10%, 1.25A (30VA, 穩態) |
低濃度測量:能夠
測量從ppb級到100%
易于操作:使用單獨的按鍵即可輕松操作
吹掃功能比較
氣體進一步穩定,可以進行更精確的測量(僅適用于具有吹掃功能的規格)
高可靠性傳感器:
傳感器內部也可進行防劣化處理(可選)
測量原理 | 氧化鋯陰影電池供電 | ||
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形狀 | 桌面/面板安裝 | ||
顯示方式 | 數字 6 位顯示(密度顯示) | ||
測量范圍 | 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20~10-0ATM 自動/固定范圍 | ||
重復性 | ± 氧氣濃度小于 1 ppm和0-1 ppm,大氣壓范圍在1%FS以內均超出濃度保證范圍。 | ||
取樣方式 | 內置泵連續抽吸 | ||
樣氣條件 | 壓力 | 加壓小于30KPa | |
流量 | ~1,500毫升/分鐘 | ||
濕度 | 露點低于環境溫度 | ||
溫度 | 0~50°攝氏度 | ||
其他 | 不含腐蝕性氣體(氟化氣體、氯氣、硫化物氣體等)、含有機硅的氣體、易燃成分(包括氣體)、油或水。 | ||
比較氣體 | 大氣層 | ||
錄音機 輸出 | 氧氣濃度輸出 | 4-20mA/0-10V 4-20mA:隔離、負載電阻 600 Ω以下 0-10V:絕緣,負載電阻 500 Ω以上 記錄儀輸出范圍為滿量程,輸出與氧氣濃度呈線性關系 | |
輸出范圍 | 0-100%、0-10%、0-1%、0-1000ppm、0-100ppm、0-10ppm、0-1ppm、10-20-10-0 或可選 4 個量程自動/固定量程 | ||
傳輸功率 | RS-232C接口 | ||
報警輸出 | FAIL(設備錯誤) | 1 分 | 無電壓觸點,觸點容量24VDC/AC以下,0.1A以下 因 設備異常導致觸點閉合(觸點操作可更改) |
ALM(濃度報警) | 2 積分 | 無電壓觸點,觸點容量24VDC/AC以下,0.1A以下 發生報警時 觸點閉合(觸點操作可更改) | |
RDY(預熱信號) | 1 分 | 無電壓觸點,觸點容量24VDC/AC以下,0.5A以下 預熱操作時 觸點閉合(觸點操作可更改)
| |
MRK(范圍標記)輸出 | 3分 | 無電壓觸點,觸點容量24VDC/AC以下,0.1A以下 | |
預熱時間 | 20分鐘內 | ||
大小 | 物質 | 288 (W) × 144 (H) × 400 (D) mm (不包括突起部分) | |
質量 | 約10kg | ||
氣體 連接端口 | 入口 | RC1/8型 | |
旁路輸出 | RC1/8型 | ||
出口 | RC1/4型 | ||
使用的電源 | 100~120VAC±10% 200VA 50Hz/60Hz |
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