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測(cè)量硅襯底上黑色光刻膠的膜厚測(cè)厚儀
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測(cè)量硅襯底上黑色光刻膠的膜厚測(cè)厚儀

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長(zhǎng)處

紅外透射膜厚度監(jiān)測(cè)器可測(cè)量電池隔膜等半透明片材、黑色光刻膠等低反射膜和硅的厚度。 它是一種紅外吸收涂層測(cè)厚儀,可應(yīng)用于從實(shí)驗(yàn)室級(jí)別到生產(chǎn)過(guò)程中的在線檢查的所有情況。
它是一種紅外薄膜測(cè)厚儀,采用由緊湊型鏡面探頭組成的透射光學(xué)系統(tǒng),可通過(guò)同時(shí)測(cè)量 100 多個(gè)波長(zhǎng)的光譜儀,準(zhǔn)確測(cè)量薄膜厚度、密度、成分等多個(gè)參數(shù)。


    • 1

    • 測(cè)量半透明片材、
      低反射膜、硅等的厚度,這在光學(xué)干涉測(cè)量法中是困難的


    • 2

    • 微型光纖探頭

      由于使用了 30 毫米的小型反射探頭,
      它可以安裝在設(shè)備或生產(chǎn)線的狹小空間內(nèi)。
      此外,由于探頭僅通過(guò)
      光纖連接到主機(jī),因此具有出色的耐環(huán)境性。


    • 3

    • 高速測(cè)量:

      100 個(gè)點(diǎn)或更高處同時(shí)采樣 950~1650 nm 的近紅外波長(zhǎng)

      可實(shí)現(xiàn)短至 1 毫秒的高速采樣。
      可以在生產(chǎn)線上進(jìn)行實(shí)時(shí)檢測(cè)和測(cè)量。
      由于干涉濾光片不旋轉(zhuǎn),因此具有出色的耐用性和可靠性。


    • 4

    • 厚度測(cè)量重復(fù)性:0.1% 或更低 (3σ)


    • 5

    • 兩種可選的測(cè)量算法

      測(cè)量算法校準(zhǔn)樣品測(cè)量目標(biāo)
      Beer-Lambert 法1 種僅厚度
      最小二乘回歸2 種或更多類型倍數(shù)(厚度、密度、特定成分的混合量等)


測(cè)量示例(鋰離子電池隔膜)



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