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NIM型真空紫外光譜儀，采用Seya- Namioka光路結構，入射狹縫和CCD探測器位于羅蘭圓上，可以單色模式和光譜模式切用 。NIM型真空紫外光譜儀可應用于大科學裝置、半導體極紫外光源與探測器研究、空間與防務。
產品特點：
1、波長范圍較寬
2、在線精密可調狹縫
3、可擴展空間維聚焦
4、可進行系統集成服務
5、結構緊湊集成度高
6、高真空兼容性
主要參數：
· 光柵類型：球面光柵
· 波長范圍：80nm~200nm
· 光譜分辨率：0.16nm@167nm
· 波長精度：根據需求設計
· 探測器類型：科研級相機
· 狹縫寬度：0.01~3mm在線連續可調
測試數據：
應用領域：
大科學裝置/半導體極紫外光源與探測器研究/空間與防務
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